[发明专利]一种P型SE-PERC双面太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种P型SE-PERC双面太阳能电池，包括自下而上依次设置的背电极、背面氮化硅膜、背面氧化铝膜、P型硅、N型硅、正面氮化硅膜和正银电极，所述的正银电极由材料为银的正银主栅电极和材料为银的正银副栅电极组成，正银副栅电极与正银主栅电极相垂直，所述的背电极由材料为银的背银主栅电极和材料为铝的背铝副栅电极组成，背铝副栅电极和背银主栅电极相垂直，所述太阳能电池在背面还开设有开通所述背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至P型硅的背面激光开槽区，背面激光开槽区内印刷灌注铝浆料，形成背铝条，背铝副栅电极与背面激光开槽区内的背铝条一体印刷成型，背铝副栅电极通过背铝条与P型硅相连，其特征在于：所述N型硅的正面在进行扩散之后并且在沉积正面氮化硅膜之前通过激光掺杂形成若干条相互平行的激光槽，激光槽采用间距不等的开槽区设计或者宽度不同的开槽区设计，所述激光槽的数量与正银副栅电极的数量相等，并且一一对应，在刻蚀正面氮化硅膜印刷正银电极时浆料落在激光槽内，形成所述的正银副栅电极。

2.如权利要求1所述的P型SE-PERC双面太阳能电池，其特征在于：所述激光槽采用间距不等的开槽区设计，相邻激光槽之间的间距自中部向两侧呈由小变大的逐渐增大状，每条激光槽的宽度均相等。

3.如权利要求2所述的P型SE-PERC双面太阳能电池，其特征在于：相邻激光槽之间的间距为0.8～2mm，激光槽的宽度为80～200um。

4.如权利要求1所述的P型SE-PERC双面太阳能电池，其特征在于：所述激光槽采用宽度不同的开槽区设计，激光槽的宽度自中部向两侧呈由窄变宽的逐渐增宽状，相邻激光槽之间的间距均相等。

5.如权利要求4所述的P型SE-PERC双面太阳能电池，其特征在于：所述激光槽的宽度为80～300um，相邻激光槽之间的间距为0.8～2mm。

6.如权利要求1至5任一项所述的P型SE-PERC双面太阳能电池的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

(1)在硅片正面和背面形成绒面，所述硅片为P型硅；

(2)在所述硅片正面进行扩散，形成N型硅，即N型发射极；

(3)对N型硅的正面进行激光掺杂，形成若干条相互平行的激光槽，激光槽采用间距不等的开槽区设计或者宽度不同的开槽区设计，所述激光槽的数量与正银副栅电极的数量相等，并且一一对应；

(4)去除扩散过程形成的磷硅玻璃和周边PN结，并对硅片背面进行抛光，形成高反射率的背表面；

(5)在硅片背面沉积背面氧化铝膜；

(6)在氧化铝膜的背面沉积背面氮化硅膜；

(7)在N型硅的正面沉积正面氮化硅膜；

(8)对硅片背面进行激光开槽，开通背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至硅片，形成背面激光开槽区；

(9)在所述硅片背面采用丝网印刷来印刷背电极的背银主栅电极，烘干；

(10)在背面激光开槽区内印刷铝浆料，形成背铝条，背铝条与背铝副栅电极一体印刷成型，烘干；

(11)在所述正面氮化硅膜的正面采用丝网印刷或喷墨方式刻蚀印刷正银电极浆料，保证浆料落在激光槽内，形成正银副栅电极；

(12)对硅片进行高温烧结，形成背电极和正银电极；

(13)对硅片进行抗LID退火处理，制得P型SE-PERC双面太阳能电池。

7.如权利要求6所述的P型SE-PERC双面太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述步骤(12)中的高温烧结中的温度为780℃～820℃。