[发明专利]图案化多层结构的方法

说明书

一种图案化多层结构的方法，以及一种制造OLED装置的光提取基底的方法。在基底的第一表面上形成其中具有多个空隙的第一层或散射层。在所述第一层或所述散射层上形成第二层或平面化层，使得所述第一层或所述散射层的第一区域的表面暴露，其中所述第二层或所述平面化层的材料的一部分渗透到所述多个空隙中以附接到所述基底的所述第一表面的至少一部分。移除所述第一层或所述散射层的所述第一区域。

技术领域

本申请要求2017年7月14日提交的韩国专利申请序列号10-2017-0089630的优先权权益，所述申请的内容是本文的依托并且以全文引用的方式并入本文。

本公开涉及一种图案化多层结构的方法，并且更具体地，涉及一种通过在第一层上形成第二层，使得所述第一层的一部分区域暴露，然后移除所述第一层的所述部分区域来图案化多层结构的方法。

背景技术

在基底上形成的多层结构被制造并在多种技术领域中用作中间产品或最终产品。例如，多层结构可制造为例如制作显示装置、半导体装置和照明装置的过程中的中间产品。此类多层结构的层需要图案化成具有预定的大小以及准确定位的形状。

就这一点而言，第一，可考虑从一开始便形成多层结构的具有预定的大小和准确定位的形状的层。但是，这需要多层结构的层被准确对齐。因此，这可能增加工艺难度并且需要昂贵的对齐设备，从而增加加工成本。

作为第二选项，可考虑形成多层结构的层，然后移除多层结构的层的一部分以得到预定的大小和准确定位的形状。但是，这种方法还伴随有一些问题，诸如最终产生的多层结构边缘的品质低和由残余粒子所致的表面污染。因此，需要一种新颖的能够克服这些困难的方法。

发明内容

本公开的各种方面提供一种克服现有问题的图案化多层结构的改良方法，所述问题诸如所得多层结构边缘的品质低和由残余粒子所致的表面污染。

根据一个方面，图案化多层结构的方法可包括：在基底的第一表面上由第一层材料形成第一层，使得所述第一层中形成多个空隙；在所述第一层上由第二层材料形成第二层，使得所述第一层的第一区域的表面暴露，其中一部分所述第二层材料渗透到所述第一层的所述多个空隙中以附接到所述基底的所述第一表面至少一部分；以及移除所述第一层的所述第一区域。

根据一个方面，制造有机发光二极管装置的光提取基底的方法可包括：在基底的第一表面上由散射层材料形成散射层，使得所述光散射层中形成多个空隙；在所述散射层上由平面化层材料形成平面化层，使得所述散射层的第一区域的表面暴露，其中一部分所述平面化层材料渗透到所述散射层的所述多个空隙中以附接到所述基底的所述第一表面的至少一部分；以及移除所述散射层的所述第一区域。

附图说明

图1是示出根据示例性实施方案来图案化多层结构的方法的流程图；

图2是示出图1所示的根据一些示例性实施方案来图案化多层结构的方法的剖视图；

图3是示出多层结构的平面图，所述多层结构是通过图1所示的根据一些示例性实施方案来图案化多层结构的方法来图案化；

图4是示出图1所示的根据一些示例性实施方案来图案化多层结构的方法的平面图；

图5是示出根据比较实施例来制造OLED装置的方法的剖视图；

图6是通过图5所示的制造OLED装置的方法所制造的OLED装置的发光图像；

图7是示出根据示例性实施方案制造OLED装置的方法的剖视图；

图8是通过图7所示的制造OLED装置的方法所制造的OLED装置的发光图像；

图9是用于形成根据示例性实施方案的光提取基底的散射层的第一分散液的电子显微镜图像；