[发明专利]一种共源共栅级联结构的氮化镓器件有效
申请号: | 201810770430.X | 申请日: | 2018-07-13 |
公开(公告)号: | CN109244057B | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 孙辉;胡腾飞;刘美华;林信南;陈东敏 | 申请(专利权)人: | 北京大学深圳研究生院 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L25/18 |
代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 郭燕;彭家恩 |
地址: | 518055 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 共源共栅 级联 结构 氮化 器件 | ||
1.一种共源共栅级联结构的氮化镓器件,其特征在于,包括:基板本体(1),基板本体(1)的一个端面印制器件线路铜层,另一个端面印制热排气铜层(4),所述器件线路铜层包括第一铜层面(2)和第二铜层面(3),所述第一铜层面(2)和第二铜层面(3)之间电气隔离;所述热排气铜层(4)上设置有若干条延伸到基板边界的间隙;
还包括:硅器件和GaN器件,所述GaN器件和硅器件分别通过焊料焊接在所述第一铜层面(2)上,所述GaN器件和硅器件相邻不相接,所述GaN器件的Source端与第一铜层面(2)连线进而与硅器件的Drain端相连,形成共源共栅级联结构的氮化镓器件的导通回路;所述GaN器件的Gate端与硅器件的Source端连线,形成共源共栅级联结构的氮化镓器件的驱动回路;GaN器件的Drain端、硅器件的Gate端直接向封装基板的一侧引出,作为共源共栅级联结构的氮化镓器件的Drain和Gate管脚,硅器件的Source端与第二铜层面(3)连线,第二铜层面(3)向封装基板的同一侧引出,作为共源共栅级联结构的氮化镓器件的Source管脚。
2.根据权利要求1所述的氮化镓器件,其特征在于,所述第一铜层面(2)和第二铜层面(3)均为矩形结构,第一铜层面(2)和第二铜层面(3)间隔设置从而形成电气隔离。
3.根据权利要求1或2所述的氮化镓器件,其特征在于,所述基板本体(1)由氮化铝陶瓷制成。
4.根据权利要求3所述的氮化镓器件,其特征在于,所述器件线路铜层上设置有镍钯金层。
5.根据权利要求4所述的氮化镓器件,其特征在于,所述基板本体(1)厚度范围0.5~0.55mm,所述器件线路铜层和热排气铜层(4)厚度大于30μm。
6.根据权利要求5所述的氮化镓器件,其特征在于,所述基板本体1为矩形结构,第一铜层面(2)和第二铜层面(3)之间间隔1mm。
7.根据权利要求1所述的氮化镓器件,其特征在于,所述GaN器件选用GaN HEMT器件(5),所述硅器件选用Si VDMOS器件(6);所述共源共栅级联结构的氮化镓器件的Gate、Drain和Source在封装基板的同一侧按Gate、Drain、Source顺序依次排布。
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