[发明专利]产生气体分析装置和产生气体分析方法有效
| 申请号： | 201810770468.7 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109283264B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 广瀬龙介;秋山秀之;坂井范昭;渡边将史 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;孙明浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 产生 气体 分析 装置 方法 | ||
1.一种产生气体分析装置，其具有：
气体成分产生部，其使包含于试样中的气体成分产生；
检测单元，其检测在该气体成分产生部中生成的所述气体成分；以及
混合气体流路，其将所述气体成分产生部与所述检测单元之间连接起来，所述气体成分与载气的混合气体在该混合气体流路中流动，其中，该载气将该气体成分向所述检测单元引导，
该产生气体分析装置的特征在于，
所述产生气体分析装置还具有：
分支路，其从所述混合气体流路分支而向外部开放；
惰性气体流路，其在比所述分支路靠下游侧的位置与所述混合气体流路在合流部处合流，惰性气体在该惰性气体流路中流动；
第一流量调整机构，其对所述载气的流量(F1)进行调整；
第二流量调整机构，其对在所述惰性气体流路中流动的所述惰性气体的流量(F4)进行调整；以及
流量控制部，其对所述第二流量调整机构进行控制，使得向所述检测单元引导的所述混合气体的流量成为规定的值。
2.根据权利要求1所述的产生气体分析装置，其中，
在所述分支路的排出侧具有对从该分支路排出的所述混合气体的排出压力进行调整的排出压力调整机构。
3.根据权利要求1或2所述的产生气体分析装置，其中，
所述检测单元是质量分析计，在所述混合气体流路与所述质量分析计之间具有对所述混合气体中的所述气体成分进行离子化的离子化部，
所述流量控制部在来自所述检测单元的检测信号低于规定的范围时，对所述第一流量调整机构进行控制以增大所述流量(F1)。
4.根据权利要求3所述的产生气体分析装置，其特征在于，
所述产生气体分析装置还具有流量测定机构，该流量测定机构测定向所述合流部流动的所述混合气体的流量、或从所述分支路排出的所述混合气体的流量。
5.一种产生气体分析方法，其使用了产生气体分析装置，该产生气体分析装置具有：
气体成分产生部，其使包含于试样中的气体成分产生；
检测单元，其检测在该气体成分产生部中生成的所述气体成分；以及
混合气体流路，其将所述气体成分产生部与所述检测单元之间连接起来，所述气体成分与载气的混合气体在该混合气体流路中流动，其中，该载气将该气体成分向所述检测单元引导，
该产生气体分析方法的特征在于，
所述产生气体分析装置还具有：
分支路，其从所述混合气体流路分支而向外部开放；以及
惰性气体流路，其在所述分支路靠下游侧的位置与所述混合气体流路在合流部处合流，惰性气体在该惰性气体流路中流动，
所述产生气体分析方法还具有如下的步骤：
第一流量调整步骤，对所述载气的流量(F1)进行调整；
第二流量调整步骤，对在所述惰性气体流路中流动的所述惰性气体的流量(F4)进行调整；以及
流量控制步骤，对所述第二流量调整步骤进行控制，使得向所述检测单元引导的所述混合气体的流量成为规定的值。
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