[发明专利]产生气体分析装置和产生气体分析方法

说明书

提供产生气体分析装置和产生气体分析方法，提高气体成分的检测精度而不会使装置大型化。产生气体分析装置(200)具有：气体成分产生部(10)；检测气体成分(G)的检测单元(110)；混合气体流路(41)，将气体成分产生部与检测单元之间连接起来，供气体成分与将气体成分向所述检测单元引导的载气(C)的混合气体(M)流动，产生气体分析装置(200)还具有：分支路(42)，从混合气体流路分支而向外部开放；惰性气体流路(19f)，在分支路的下游侧与混合气体流路在合流部(45)处合流，供惰性气体(T)流动；调整载气的流量(F1)的第一流量调整机构(18v)；调整惰性气体流路中流动的惰性气体的流量(F4)的第二流量调整机构(19v)；流量控制部(216)，控制第二流量调整机构使得向检测单元引导的混合气体的流量成为规定值。

技术领域

本发明涉及对加热试样而产生的气体成分进行分析而对试样进行鉴别和定量等的产生气体分析装置和产生气体分析方法。

背景技术

为了确保树脂的柔软性，在树脂中包含有邻苯二甲酸酯等增塑剂，但是在2019年及以后，根据欧洲特定有害物质限制(RoHS)，会限制四种邻苯二甲酸酯的使用。因此，需要对树脂中的邻苯二甲酸酯进行鉴别和定量。

由于邻苯二甲酸酯是挥发性成分，因此能够使用现有公知的产生气体分析(EGA；Evolved Gas Analysis：逸出气分析)进行分析。关于该产生气体分析，是指通过气相色谱仪或质谱分析等各种分析装置对加热试样而产生的气体成分进行分析。

在产生气体分析中，使产生的气体成分流入到氮气等载气中而导入到分析装置中。但是，当气体成分大量产生而使气体浓度过高时，存在超过分析装置的检测范围、检测信号超出标度从而使测定变得不准确这样的问题。

因此，公开了如下的技术：在分析装置的检测信号超出了检测范围时，增大与气体成分混合的载气流量以稀释气体成分、使气体浓度降低(专利文献1、2)。并且，也公开了如下的技术：使得能够将吹扫气体导入到测定系统内，吹扫分析对象以外的气体成分以将其排出到系统外，选择性地检测分析对象的气体成分(专利文献3)。

专利文献1：日本特开2001-28251号公报

专利文献2：日本特开2012-202887号公报

专利文献3：日本特开平9-311128号公报

然而，在专利文献1、2记载的技术的情况下，由于在气体浓度变高时增大载气流量，因此需要提高载气的供给能力，导致装置的大型化和成本增加。

并且，在使用质量分析计作为分析装置的情况下，在其前级对气体成分离子化。但是，当在气体成分中包含有不是测定对象的副成分时，副成分也被离子化，因此在气体成分大量产生的情况下，原本想要离子化的测定对象的成分没有被充分离子化，测定对象的检测信号反而降低(离子抑制)。专利文献1、2记载的技术很难应对这样的情况。

并且，在专利文献3记载的技术的情况中，导入到测定系统中的吹扫气体利用作为检测器的毛细管分离柱的流体阻力而使气体成分和载气的流动方向逆流、并从位于上游侧的分流排气管(分支管)排出。然而，在这样的利用逆流的方法中，也许能够排出分析对象以外的气体成分，但无法对气体成分相对于载气的浓度进行调整，并且很难准确地对导入到检测器中的气体的流量进行调整，因此难以提高检测精度。

发明内容

因此，本发明是为了解决上述的课题而完成的，其目的在于，提供提高了气体成分的检测精度而不会使装置大型化的产生气体分析装置和产生气体分析方法。