[发明专利]一种水基微电子剥离清洗组合剂

权利要求书

1. 一种水基微电子剥离清洗组合剂，包括去离子水、杜邦EKC剥离液、亚仕兰ACT940剥离液、STRIPPER N311剥离液、安集idealclean960清洗液、过氧化氢、过硫酸钠、极性溶剂、腐蚀抑制剂，其特征在于：

该组合剂各组分的重量份数为：去离子水75-85重量份、杜邦EKC剥离液8-12份、亚仕兰ACT940剥离液6-10重量份、STRIPPER N311剥离液2-6重量份、安集idealclean960清洗液3-6重量份、过氧化氢5-9重量份、过硫酸钠4-7重量份、极性溶剂5-10重量份、腐蚀抑制剂2-5重量份；

该组合剂去除金属刻蚀后产生聚合物的机理为：

亚仕兰ACT940剥离液、STRIPPER N311剥离液、安集idealclean960中羟胺与水结合产生碱性物质，碱性物质与聚合物鳌合将其从金属侧壁上剥离；碱性物质会对金属线侧壁产生微刻蚀；剥离下的聚合螯合物将溶于该组合剂里的极性溶剂；

亚仕兰ACT940剥离液和STRIPPER N311剥离液中的苯二酚与金属线剥离后，经安集idealclean960清洗液进行后续清洗；

过氧化氢、过硫酸钠、腐蚀抑制剂减少去离子水对金属产生的腐蚀作用；

该组合剂中氟化氢与聚合物反应，将聚合物从金属线上剥离；聚合物随后溶于极性溶剂中；

该组合剂的制备方法为：

步骤一、先在去离子水中加入过氧化氢、安集idealclean960清洗液，搅拌混合均匀；

步骤二、将溶液升温至35-40℃，依次加入亚仕兰ACT940剥离液，搅拌均匀30-50min；

步骤三、再将上述溶液放入冰水浴中，加入杜邦EKC剥离液、STRIPPER N311剥离液助洗剂，继续搅拌40-60min，分散为均匀的混合溶液；

步骤四、将上述溶液恢复到室温，加入极性溶剂、腐蚀抑制剂、过硫酸钠，继续搅拌60-90min，分散为均匀的混合溶液。

2.根据权利要求1所述的一种水基微电子剥离清洗组合剂，其特征在于，所述极性溶剂包括含6-18个碳原子的液态脂肪烃，环烷烃如环己烷、环庚烷、环辛烷、环癸烷、十氢化萘中的任意一种或任意一种以上的混合物。

3.根据权利要求1所述的一种水基微电子剥离清洗组合剂，其特征在于，所述腐蚀抑制剂为葡萄糖、甘露糖、阿拉伯糖、赤藓糖、果糖、半乳糖、核糖、脱氧核糖、木糖、甘露糖醇、木糖醇、山梨糖醇中的一种或几种。

4.根据权利要求1所述的一种水基微电子剥离清洗组合剂，其特征在于，所述过硫酸钠的制备方法包括以下步骤：

步骤S1、向浓度为200-400g/L的过氧化氢中加入硫酸钠，配成硫酸钠浓度为100-300g/L的溶液；

步骤S2、将上述溶液放入油浴锅中，温度保持在10-15℃；经200-500r/min 磁力搅拌30-45min，得到过饱和溶液；

步骤S3、将上述溶液通过抽滤后，放入真空干燥箱中，经50-80℃真空干燥5-10h，得到白色疏松状的过硫酸钠。