[发明专利]单体双金属板封装结构及其封装方法有效

专利信息
申请号: 201810771662.7 申请日: 2018-07-13
公开(公告)号: CN108695172B 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 梁志忠;刘恺;王亚琴 申请(专利权)人: 江苏长电科技股份有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L23/31;H01L23/552
代理公司: 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 代理人: 苏婷婷
地址: 214431 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 单体 双金属 封装 结构 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种单体双金属板封装结构的封装方法,其特征在于,所述方法包括:

S1、提供上金属板和下金属板;

S2、在上金属板的下表面上蚀刻形成至少一个凹槽以形成顶板;

在下金属板的上表面依次电镀阻焊层和线路层,并在所述线路层远离所述下金属板的一侧叠装芯片以形成底板;

S3、结合顶板和底板,以在所述阻焊层对应顶板凹槽的区域内形成空腔,使所述芯片设置于所述空腔内;

S4、向所述空腔内注入注塑料以进行注塑包封;

S5、剥离所述下金属板;

S6、在阻焊层上开窗以曝露线路层,并在其开窗区域植入焊球;

S7、剥离所述上金属板,以形成若干个单体双金属板封装结构。

2.根据权要求1 所述的单体双金属板封装结构的封装方法,其特征在于,

所述步骤S2 还包括:

在所述凹槽的侧壁和/或顶壁上开设注塑孔;

所述步骤S4 具体包括:通过所述注塑孔向所述空腔内注入注塑料以进行注塑包封;

所述步骤S7 具体包括:剥离所述上金属板,去除单体双金属板封装结构外的注塑料,以形成若干个单体双金属板封装结构。

3.根据权要求2 所述的单体双金属板封装结构的封装方法,其特征在于,

所述步骤S2 还包括:

M1、在上金属板的下表面贴覆或印刷光阻材料;

M2、通过曝光显影过程去除部分光阻材料以形成蚀刻区域,蚀刻所述蚀刻区域以形成凹槽;

M3、去除所述上金属板上剩余的光阻材料以形成顶板。

4.根据权要求2 所述的单体双金属板封装结构的封装方法,其特征在于,沿注塑孔朝向凹槽内部的延伸方向上,所述注塑孔的开口尺寸保持不变。

5.根据权要求2 所述的单体双金属板封装结构的封装方法,其特征在于,沿注塑孔朝向凹槽内部的延伸方向上,所述注塑孔的开口尺寸依次递减。

6.根据权要求1 所述的单体双金属板封装结构的封装方法,其特征在于,所述步骤S2还包括:

N1、在下金属板的上表面贴覆或印刷阻焊层;

N2、在阻焊层上贴覆或印刷光阻材料;

N3、通过曝光显影过程去除部分光阻材料以形成蚀刻区域,并在所述蚀刻区域电镀线路层;

N4、去除所述阻焊层上剩余的光阻材料;

N5、在所述线路层远离所述下金属板的一侧叠装芯片以形成底板。

7.根据权要求1 所述的单体双金属板封装结构的封装方法,其特征在于,在所述线路层远离所述下金属板的一侧叠装芯片之前,所述方法还包括:

在所述线路层远离所述下金属板的一侧印刷锡膏,以用于叠加芯片以及用于结合所述顶板和所述底板。

8.根据权要求1 所述的单体双金属板封装结构的封装方法,其特征在于,

所述步骤S6 还包括:在阻焊层上开窗的同时,去除未对应所述凹槽区域的阻焊层。

9.根据权要求1 所述的单体双金属板封装结构的封装方法,其特征在于,

通过蚀刻的方式剥离上金属板;

通过蚀刻或机械剥离的方式剥离下金属板。

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