[发明专利]金刚石刀头及基板切断方法有效
| 申请号： | 201810774844.X | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109293229B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 曾山浩;村上久美子 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/10 | 分类号： | C03B33/10;C03B33/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 肖茂深 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金刚石 刀头 切断 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种金刚石刀头，其特征在于，
具备160°以上且171°以下的顶面棱线间角度、41.4°以上且79.1°以下的顶面角度、以及130°以上且148°以下的棱线角度。
2.根据权利要求1所述的金刚石刀头，其中，
所述顶面棱线间角度为165°以上。
3.根据权利要求1或2所述的金刚石刀头，其中，
所述顶面角度为46.5°以上。
4.根据权利要求1或2所述的金刚石刀头，其中，
所述顶面角度为64.0°以下。
5.根据权利要求3所述的金刚石刀头，其中，
所述顶面角度为64.0°以下。
6.一种基板切断方法，其特征在于，具备：
作为至少一个刀头而准备权利要求1至5中任一项所述的金刚石刀头的工序；
使所述至少一个刀头中的任一方在脆性基板上滑动而形成第一沟槽线的工序；
在形成所述第一沟槽线之后，形成沿着所述第一沟槽线的第一裂纹线的工序；
使所述至少一个刀头中的任一方沿着具有与所述第一裂纹线交叉的交叉部位的轨道在所述脆性基板上滑动，由此形成第二沟槽线的工序；以及
从所述交叉部位沿着所述第二沟槽线形成第二裂纹线的工序。
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