[发明专利]光学非破坏检查方法以及光学非破坏检查装置

权利要求书

1.一种光学非破坏检查方法，对在测量对象物中的第一部件的表面设定的测量点照射加热用激光，并基于测量点信息、或者基于加热用激光信息以及所述测量点信息判定接合界面中的接合部的接合状态，

所述测量对象物是在所述接合界面已相互接合的所述第一部件与第二部件、或者在相互的所述接合界面以夹持接合部件的方式已相互接合的所述第一部件与所述第二部件，

所述测量点信息是从所述测量点取得的信息，

所述加热用激光信息是与所述加热用激光有关的信息，其中，

所述光学非破坏检查方法具有：

加热用激光射出步骤，在该步骤中，朝向所述测量点射出所述加热用激光来加热所述测量点；

信息取得步骤，在该步骤中，取得包含从所述测量点放射的红外线的强度的所述测量点信息，或者取得包含从所述测量点放射的红外线的强度的所述测量点信息以及包含照射于所述测量点的加热用激光的强度的所述加热用激光信息；以及

接合状态判定步骤，在该步骤中，使用通过所述信息取得步骤取得的所述测量点信息或者以所述测量点信息以及所述加热用激光信息为基础的取得相关信息，判定所述接合界面中的接合部的接合状态，

还具有预备加热步骤，在该步骤中，以在所述加热用激光射出步骤之前不破坏所述第一部件地使所述第一部件产生热变形的方式，将设定为固定的输出强度的热变形产生强度以及照射时间已被调整的预备加热激光照射于所述测量点，或照射于位于包含所述测量点的范围的预备加热范围，或照射于在所述预备加热范围内已预先设定的单个或多个预备加热点，使所述第一部件产生热变形，

其中，所述热变形是指即便温度降低也不复原的变形。

2.根据权利要求1所述的光学非破坏检查方法，其中，

所述光学非破坏检查方法还具有表面异物除去步骤，

在该步骤中，在所述预备加热步骤之前，以表面异物除去照射时间朝向所述测量点照射表面异物除去用激光来除去附着于所述测量点以及所述测量点的周围的异物，

所述表面异物除去照射时间短于所述预备加热步骤中的所述预备加热激光的照射时间，

所述表面异物除去用激光的照射直径为大于所述加热用激光向所述测量点的照射直径的表面异物除去直径，

所述表面异物除去用激光的输出强度小于所述预备加热激光的输出强度。

3.根据权利要求1或2所述的光学非破坏检查方法，其中，

使用激光输出装置、激光强度检测单元、红外线强度检测单元、相位差检测装置以及判定装置，

在所述加热用激光射出步骤中，

以使所述测量点处的照射强度以正弦波状变化的方式，从所述激光输出装置射出所述加热用激光，

在所述信息取得步骤中，

所述相位差检测装置获取激光强度检测信号，该激光强度检测信号是基于在所述测量点处以正弦波状变化的所述加热用激光的强度从所述激光强度检测单元输出的所述加热用激光信息，

所述相位差检测装置获取红外线强度检测信号，该红外线强度检测信号是基于从所述测量点放射且以正弦波状变化的红外线的强度从所述红外线强度检测单元输出的所述测量点信息，

在所述接合状态判定步骤中，

通过所述相位差检测装置求出所述激光强度检测信号与所述红外线强度检测信号间的相位差，并将包含所求出的所述相位差的所述取得相关信息输出至所述判定装置，通过所述判定装置获取所述取得相关信息，

所述判定装置基于所述取得相关信息所含的所述相位差判定所述接合界面中的接合部的接合状态。

4.根据权利要求1或2所述的光学非破坏检查方法，其中，

使用激光输出装置、红外线强度检测单元以及所述判定装置，

在所述加热用激光射出步骤中，

从所述激光输出装置朝向所述测量点射出被设定成加热强度为固定的输出强度的所述加热用激光，

在所述信息取得步骤中，

所述判定装置获取红外线强度检测信号，该红外线强度检测信号是基于从所述测量点放射的红外线的强度从所述红外线强度检测单元输出的所述测量点信息，

在所述接合状态判定步骤中，

所述判定装置基于根据所述红外线强度检测信号求出的所述取得相关信息即所述测量点处的温度上升特性，判定所述接合界面中的接合部的接合状态。