[发明专利]光学非破坏检查方法以及光学非破坏检查装置

说明书

本发明提供光学非破坏检查方法以及光学非破坏检查装置。光学非破坏检查方法具有加热用激光射出步骤、取得测量点信息以及加热用激光信息的信息取得步骤以及基于测量点信息以及加热用激光信息判定接合状态的接合状态判定步骤，光学非破坏检查方法还具有预备加热步骤，在该预备加热步骤中，以在加热用激光射出步骤之前不破坏第一部件地使第一部件产生热变形的方式，将设定为固定的输出强度的热变形产生强度以及照射时间已被调整的预备加热激光照射于测量点，或照射于位于包含测量点的预备加热范围，或照射于在预备加热范围内已被设定的预备加热点，而使第一部件产生热变形。

技术领域

本发明涉及光学非破坏检查方法以及光学非破坏检查装置，对测量对象物在光学上非破坏地求出接合界面中的接合部的接合状态，上述测量对象物是在接合界面已相互接合的第一部件与第二部件、或者在相互的接合界面以夹持接合部件的方式已相互接合的第一部件与第二部件。

背景技术

例如，在日本特开2014－228478号公报中，在对测量点照射用于求出接合部面积的加热用激光来测量温度上升特性之前，以短时间对测量点照射输出比加热用激光高的激光，在测量点形成有氧化膜，其中，上述测量点设定于在接合界面已相互接合的第一部件与第二部件中的第一部件的表面。氧化膜稳定地具有非常高的吸收率(放射率)，表面粗糙度也稳定，反射率非常低。当不在测量点形成氧化膜时，在各个测量对象物之间，在测量点的表面粗糙度存在差异(波动)。因此，照射有加热用激光时的温度上升特性，根据每个测量对象物上都存在不同。因此，当不在测量点形成氧化膜时，在每个测量对象物上的SN比的波动比较大。在日本特开2014－228478号公报中，在测量点形成有氧化膜之后，照射加热用激光对温度上升特性进行测量。其结果是，各测量对象物间的测量点的表面粗糙度上的波动得到抑制，能够以更高的SN比获得测量结果。

当对测量点照射加热用激光求出接合状态时，若对相同的测量对象物多次求出接合状态，则求出的接合状态的波动有可能比较大。例如，即便是同一个测量对象物，相比于在第一次测量中求出的接合状态下的接合部面积，在第二次测量中求出的接合状态下的接合部面积也有可能变小。这被认为是，针对同一个测量对象物形成的接合部面积(接合状态)的波动是因下述[区域B]成为接触状态或是成为分离状态而产生的。

例如，当扩散接合时，就接合部面积(接合状态)的波动而言，在第一部件与第二部件间的接合面上，存在以下3个区域([区域A]～[区域C])。

[区域A]原子充分扩散从而第一部件与第二部件被适当接合而不会分离地始终处于接触的状态“以接触状态稳定的区域”。

[区域B]第一部件与第二部件未被接合，处于忽接触忽分离的状态“接触状态不稳定的区域”。

[区域C]第一部件与第二部件未被接合，始终处于分离的状态“以非接触状态稳定的区域”。

在日本特开2014－228478号公报记载的光学非破坏检查方法中，为了在测量点形成氧化膜，以短时间对测量点照射高输出的激光，但排除上述[区域B]是非常困难的。即，由于无法排除而残留有上述[区域B]，所以求出的接合部面积(接合状态)的波动有可能变大，针对该点，该方法不太优选。

发明内容

本发明的目的之一在于提供光学非破坏检查方法以及光学非破坏检查装置，基于对在第一部件设定的测量点照射了加热用激光时所得到的测量点的温度变化，判定第一部件与第二部件的接合状态，在该情况下，能够更加抑制接合状态的波动，能够取得更稳定的接合状态进行判定。