[发明专利]玻璃基板的残余应力降低方法及残余应力降低装置有效
申请号: | 201810783613.5 | 申请日: | 2018-07-17 |
公开(公告)号: | CN109455917B | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 八幡惠辅;小田晃一;村上政直 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B29/00 | 分类号: | C03B29/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 玉昌峰;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 残余 应力 降低 方法 装置 | ||
1.一种玻璃基板的残余应力降低方法,降低玻璃基板的残余应力,所述玻璃基板是利用刀轮在切断前的玻璃基板上形成刻划线并沿着刻划线切断而分割出的、未经过边缘精整的玻璃基板,其中,
所述玻璃基板的残余应力降低方法具备激光照射步骤,在所述激光照射步骤中,通过向所述玻璃基板的残余应力高的部分中的多个地方中的每一个照射预定时间的激光从而进行加热。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板的残余应力降低方法,其中,
在所述激光照射步骤中,向所述多个地方同时照射多束激光。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的残余应力降低方法,其中,
在所述激光照射步骤中,反复进行对不同地方的激光照射。
4.根据权利要求1所述的玻璃基板的残余应力降低方法,其中,
在所述激光照射步骤中,通过向所述多个地方中的每一个照射1皮秒~100秒的激光从而进行加热。
5.一种玻璃基板的残余应力降低装置,降低玻璃基板的残余应力,所述玻璃基板是利用刀轮在切断前的玻璃基板上形成刻划线并沿着刻划线切断而分割出的、未经过边缘精整的玻璃基板,其中,
所述玻璃基板的残余应力降低装置具备激光装置,所述激光装置通过向所述玻璃基板的残余应力高的部分中的多个地方中的每一个照射预定时间的激光从而进行加热。
6.根据权利要求5所述的玻璃基板的残余应力降低装置,其中,
所述激光装置向所述多个地方同时照射多束激光。
7.根据权利要求5或6所述的玻璃基板的残余应力降低装置,其中,
所述激光装置反复进行对不同地方的激光照射。
8.根据权利要求5所述的玻璃基板的残余应力降低装置,其中,
所述激光装置通过向所述多个地方中的每一个照射1皮秒~100秒的激光从而进行加热。
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