[发明专利]一种电容式压差传感器结构在审
| 申请号： | 201810789537.9 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110736582A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 张和毅;张建忠 | 申请（专利权）人： | 上海贤日测控科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L13/06 | 分类号： | G01L13/06;G01L19/14 |
| 代理公司： | 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 201611 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 受压膜片 半组件 测量 动态响应特性 气体压力变化 温度补偿能力 左右对称设置 极板间距离 压差传感器 被测气体 对称结构 寄生电容 信号干扰 灵敏度 电极 电容式 连接针 耐辐射 耐高温 分辨率 过载 极板 压差 液位 连通 破裂 | ||
1.一种电容式压差传感器结构，其特征在于，它包括左右对称设置的左半组件和右半组件及受压膜片；所述左半组件包括左连接针组、左壳体和左极板，所述左连接针组与所述左壳体互相密封锁紧，所述左连接针组的一端与左极板互相电接触导通，所述左极板与所述左壳体之间通过带四通孔的绝缘螺栓组互相连接；所述右半组件包括右连接针组、右壳体和右极板，所述右连接针组与所述右壳体互相密封锁紧，所述右连接针组的一端与右极板互相电接触导通，所述右极板与所述右壳体之间通过带四通孔的绝缘螺栓组互相连接；所述受压膜片设置在所述左极板和所述右极板之间，形成一个差动式电容结构。
2.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述左半组件和所述右半组件之间通过螺栓互相紧密结合并锁紧。
3.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述左极板与所述左壳体之间通过绝缘垫片互相隔离并有效绝缘。
4.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述左壳体通过左极板和绝缘垫片将左壳体的内腔分成左上腔和左下腔，所述左上腔和所述左下腔之间通过工艺导通孔连通。
5.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述左壳体的工艺孔上设置有密封堵头螺丝，所述左壳体的导气孔通过气管接头组件密封锁紧。
6.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述右极板与所述右壳体之间通过绝缘垫片互相隔离并有效绝缘。
7.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述右壳体通过右极板和绝缘垫片将右壳体的内腔分成右上腔和右下腔，所述右上腔和所述右下腔之间通过工艺导通孔连通。
8.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述右壳体的工艺孔上设置有密封堵头螺丝，所述右壳体的导气孔通过气管接头组件密封锁紧。
9.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述左壳体的端面上设置有凸形环，所述右壳体的端面上设置有凹形环槽，所述凸形环与所述凹形环槽相配合。
10.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述左壳体的端面上装有密封圈，所述右壳体的端面上装有密封圈。
11.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述左壳体和所述右壳体电接触导通并连接有两个连接柱。
12.如权利要求1所述的电容式压差传感器结构，其特征在于，所述左壳体、右壳体、左极板、右极板、连接柱、左连接针组的针和右连接针组的针采用耐腐蚀、温度系数低和电阻率很低的导体金属材料制成；所述受压膜片采用耐腐蚀、电阻率很低和弹性好的的导体金属材料制成。
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