[发明专利]一种电容式压差传感器结构

说明书

本发明的目的在于公开一种电容式压差传感器结构，它包括左右对称设置的左半组件和右半组件及受压膜片；与现有技术相比，左半组件和右半组件是对称结构，受压膜片与左极板和右极板间距离很小，过载时受压膜片受到保护而不致破裂，连接针电极可以方便的插在PCB板上，避免信号干扰，减少寄生电容的存在因素，减少非线性，提高灵敏度和准确性并具有温度补偿能力；直接与被测气体连通，受压膜片直接感受气体压力变化，具有结构简单、耐高温、耐辐射、分辨率高、动态响应特性好等优点，广泛用于压力、液位等测量中，特别是微小压差的测量，实现本发明的目的。

技术领域

本发明涉及一种传感器结构，特别涉及一种电容式压差传感器结构。

背景技术

在现有技术中，现有的电容式压差传感器，它的受压膜片电极位于两个固定电极之间,构成两个电容器。在压力的作用下，一个电容器的容量增大而另一个电容器的容量则相应减小，测量结果由差动式电路输出。测量的受压膜片的左右两室中充满硅油，它的固定电极是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成。过载时，受压膜片受到凹面的保护而不致破裂。差动电容式压力传感器比单电容式的灵敏度高、线性度好。

但是，上述结构中，测量的受压膜片的左右两室中充满硅油，密封要求高，结构复杂，制造工艺较复杂，加工较困难，成本高，寄生电容影响大，降低了测量灵敏度，而且引起非线性输出；且由于寄生电容是随机变化的，因而使传感器处于不稳定的工作状态．影响测量准确度，不适合测量很小的压差。

因此，特别需要一种电容式压差传感器结构，以解决上述现有存在的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电容式压差传感器结构，针对现有技术的不足，具有变极距，电容极板为差动式结构，寄生电容很小，非线性输出小，灵敏度高，准确度高，误差小，且具有温度补偿功能，适合测量很小的压差。

本发明所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：

一种电容式压差传感器结构，其特征在于，它包括左右对称设置的左半组件和右半组件及受压膜片；所述左半组件包括左连接针组、左壳体和左极板，所述左连接针组与所述左壳体互相密封锁紧，所述左连接针组的一端与左极板互相电接触导通，所述左极板与所述左壳体之间通过带四通孔的绝缘螺栓组互相连接；所述右半组件包括右连接针组、右壳体和右极板，所述右连接针组与所述右壳体互相密封锁紧，所述右连接针组的一端与右极板互相电接触导通，所述右极板与所述右壳体之间通过带四通孔的绝缘螺栓组互相连接；所述受压膜片设置在所述左极板和所述右极板之间，形成一个差动式电容结构。

在本发明的一个实施例中，所述左半组件和所述右半组件之间通过螺栓互相紧密结合并锁紧。

在本发明的一个实施例中，所述左极板与所述左壳体之间通过绝缘垫片互相隔离并有效绝缘。

在本发明的一个实施例中，所述左壳体通过左极板和绝缘垫片将左壳体的内腔分成左上腔和左下腔，所述左上腔和所述左下腔之间通过工艺导通孔连通。

在本发明的一个实施例中，所述左壳体的工艺孔上设置有密封堵头螺丝，所述左壳体的导气孔通过气管接头组件密封锁紧。

在本发明的一个实施例中，所述右极板与所述右壳体之间通过绝缘垫片互相隔离并有效绝缘。

在本发明的一个实施例中，所述右壳体通过右极板和绝缘垫片将右壳体的内腔分成右上腔和右下腔，所述右上腔和所述右下腔之间通过工艺导通孔连通。

在本发明的一个实施例中，所述右壳体的工艺孔上设置有密封堵头螺丝，所述右壳体的导气孔通过气管接头组件密封锁紧。

在本发明的一个实施例中，所述左壳体的端面上设置有凸形环，所述右壳体的端面上设置有凹形环槽，所述凸形环与所述凹形环槽相配合。

在本发明的一个实施例中，所述左壳体的端面上装有密封圈，所述右壳体的端面上装有密封圈。