[发明专利]一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置在审

专利信息
申请号: 201810792629.2 申请日: 2018-07-18
公开(公告)号: CN108619833A 公开(公告)日: 2018-10-09
发明(设计)人: 杨春水;司马超;张坤;曹小康;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 申请(专利权)人: 安徽京仪自动化装备技术有限公司
主分类号: B01D47/06 分类号: B01D47/06;B01D53/18
代理公司: 芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138 代理人: 郑直
地址: 241000 安徽省芜湖*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 水洗腔 废水箱 喷水口 法兰 出水口法兰 水洗喷淋 出气口法兰 进气口法兰 进水口法兰 粉尘环境 水平焊接 酸性气体 竖直 焊接 粉尘 半导体制造过程 喷头 处理设备 工艺气体 水流冲洗 连接管 掉落 废气
【权利要求书】:

1.一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置,其特征在于:包括水洗腔体(1)和安装在水洗腔体(1)上的进气口法兰(2)、出气口法兰(3)和出水口法兰(4),所述进气口法兰(2)和出气口法兰(3)分别竖直焊接在水洗腔体(1)的顶部左侧和右侧,所述出水口法兰(4)竖直焊接在水洗腔体(1)的底部,所述水洗腔体(1)的下方设有废水箱(6),所述废水箱(6)的顶部焊接有进水口法兰(17),所述出水口法兰(4)通过连接管(5)和废水箱(6)的进水口法兰(17)连接,所述水洗腔体(1)的左侧上部和下部分别水平焊接有喷水口法兰一(7)和喷水口法兰二(8),所述水洗腔体(1)的右侧下部水平焊接有喷水口法兰三(9),所述喷水口法兰一(7)、喷水口法兰二(8)和喷水口法兰三(9)内设有喷头(15)。

2.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置,其特征在于:所述水洗腔体(1)的内部中间竖直安装有挡板(16),所述挡板(16)和水洗腔体(1)的顶部连接并将水洗腔体(1)的内部分隔成左、右两个腔室。

3.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置,其特征在于:所述水洗腔体(1)的前侧在每个喷头(15)安装处对应设有矩形的观察口,所述观察口的内侧均布焊接有压铆螺母(18),所述观察处的外侧通过锁紧螺钉(10)安装有透明面板(12),所述透明面板(12)和水洗腔体(1)之间加装有密封垫(11),所述密封垫(11)的材质为含有玻璃纤维的聚四氟乙烯复合材料。

4.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置,其特征在于:所述水洗腔体(1)的内部的下方设有过滤板(14),所述过滤板(14)的下方设有支撑板(13)并焊接在水洗腔体(1)的内壁上,所述过滤板(14)通过支撑板(13)水平安装在水洗腔体(1)内。

5.根据权利要求3或4所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置,其特征在于:所述水洗腔体(1)的左侧下部也设有矩形的观察口,所述观察口的底部和支撑板(13)处于相同的水平高度。

6.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置,其特征在于:所述水洗腔体(1)的内部及内部的焊接件做聚四氟乙烯涂层覆盖处理,所述焊接件包括支撑板(13)和压铆螺母(18)。

7.根据权利要求1所述的一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置,其特征在于:所述进气口法兰(2)和出气口法兰(3)的数量分别为四个和一个。

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