[发明专利]一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置

说明书

本发明公开了一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，包括水洗腔体、进气口法兰、出气口法兰和出水口法兰，进气口法兰和出气口法兰竖直焊接在水洗腔体的顶部左侧和右侧，出水口法兰竖直焊接在水洗腔体的底部，水洗腔体的下方设有废水箱，废水箱的顶部设有进水口法兰，出水口法兰通过连接管和废水箱的进水口法兰连接，水洗腔体的左侧上部和下部分别水平焊接有喷水口法兰一和喷水口法兰二，水洗腔体的右侧下部水平焊接有喷水口法兰三，喷水口法兰内设有喷头。废气中含有的粉尘经过前端水洗喷淋装置后，粉尘与水结合掉落到装置底部并顺着水流冲洗到废水箱中。

技术领域

本发明涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，具体涉及一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置。

背景技术

在半导体制造过程中既有二氧化硫、氮氧化物、含氟气体等有害废气外排，也有大量的粉尘伴随废气排放到环境中，造成环境空气污染。应用在半导体行业的传统废气处理设备在长时间运行中会因为废气中含有的粉尘导致废气处理设备反应腔堵塞，缩短设备的维护周期，影响工厂的产能，同时，在长时间运行中会因为废气中的酸性气体加速腐蚀设备的金属管路及连接厂务排风的金属管路，造成气体泄漏，导致安全事件发生。

中国专利申请号为CN104258664A公开了一种粉尘废气处理装置，主要由支撑座、下机壳、上机壳、底座组成，支撑座设在底座上，下机壳、上机壳均为半圆形腔体并通过焊接构成机壳，支撑座上设的电动机与传动轴连接，传动轴穿过机壳中心并通过固定座设在支撑座上，机壳内设有旋转轮和固定环，旋转轮通过传动装置与传动轴连接，固定环设置在机壳上，旋转轮与固定环径向上交错设置，旋转轮、固定环的轴向杆上分别设有旋转叶片、固定叶片，机壳上设的溶剂喷头在径向上的位置与旋转叶片对应。

中国专利申请号为CN107758375A公开了一种粉尘处理设备，包括机架，机架上设有储料筒和收集筒，储料筒上连通有出料管，出料管外侧设有转轴，转轴固定连接有软轴，软轴一端伸进出料管中；收集筒内设有疏通开关和叶轮；机架上还固设有环形槽和内齿圈，内齿圈的齿形为锥形，内齿圈的齿轮孔内设有锥齿轮，锥齿轮转动连接在机架上，内齿圈与锥齿轮之间设有齿轮轴，齿轮轴下端固定连接有压紧杆；环形槽内设有发条，发条内端与锥齿轮上端面偏心处固定连接，且发条内端固定连有第一磁铁，环形槽内壁上固设有第二磁铁，转轴外圆上固定连接有连杆，连杆与发条外端固定连接。

通过对上述对比文件仔细分析后发现：对比文件1中所涉及的技术方案结构上过于复杂，维护成本较高，同时，装置占用的空间也较大；对比文件2中所涉及的技术方案只能实现对废气中粉尘进行处理，而对废气中的酸性气体无法去除，因此，对应用于半导体制造过程中制成工艺气体处理设备需要重新进行更加合理的设计。

发明内容

本发明的目的在于提供一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。

一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，包括水洗腔体和安装在水洗腔体上的进气口法兰、出气口法兰和出水口法兰，所述进气口法兰和出气口法兰分别竖直焊接在水洗腔体顶部左侧和右侧，所述出水口法兰竖直焊接在水洗腔体的底部，所述水洗腔体的下方设有废水箱，所述废水箱的顶部焊接有进水口法兰，所述出水口法兰通过连接管和废水箱的进水口法兰连接，所述水洗腔体的左侧上部和下部分别水平焊接有喷水口法兰一和喷水口法兰二，所述水洗腔体的右侧下部水平焊接有喷水口法兰三，所述喷水口法兰一、喷水口法兰二和喷水口法兰三内设有喷头。

优选的，所述水洗腔体的内部中间竖直安装有挡板，所述挡板和水洗腔体的顶部连接并将水洗腔体的内部分隔成左、右两个腔室。

优选的，所述水洗腔体的前侧在每个喷头安装处对应设有矩形的观察口，所述观察口的内侧均布焊接有压铆螺母，所述观察处的外侧通过锁紧螺钉安装有透明面板，所述透明面板和水洗腔体之间加装有密封垫，所述密封垫的材质为含有玻璃纤维的聚四氟乙烯复合材料。