[发明专利]一种双工位直投式光刻机及其曝光方法

权利要求书

1.一种双工位直投式光刻机，其特征在于：包括底座、输送带、Y向线性导轨、第一驱动龙门、第二驱动龙门、第一X向轴、第二X向轴和镜筒组，所述底座上设有输送带，所述输送带内设有第一吸盘和第二吸盘，所述底座上位于输送带一侧设有Y向线性导轨，所述Y向线性导轨上连接有可沿Y向线性导轨Y方向滑动的第一驱动龙门和第二驱动龙门，所述第一驱动龙门和第二驱动龙门位于输送带外侧，所述第一驱动龙门上设有第一X向轴，所述第一X向轴上设有可沿第一X向轴X方向滑动的对位相机A和对位相机B，所述对位相机A和对位相机B均可沿第一X向轴Z方向滑动，所述第二驱动龙门上设有第二X向轴，所述第二X向轴上设有可沿第二X向轴X方向滑动的二次对位相机A和二次对位相机B，所述二次对位相机A和二次对位相机B之间设有可沿第二X向轴X方向滑动的镜筒组，所述二次对位相机A、二次对位相机B和镜筒组均可沿第二X向轴Z方向滑动。

2.根据权利要求1所述的一种双工位直投式光刻机，其特征在于：所述第一驱动龙门和第二驱动龙门呈倒U型结构。

3.根据权利要求1所述的一种双工位直投式光刻机，其特征在于：所述镜筒组通过镜筒组安装板连接在第二X向轴上。

4.一种双工位直投式光刻机的曝光方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）输送产品：先将需曝光的产品放上输送带，输送带载着产品沿着Y方向移动，向前间歇输送产品至第一驱动龙门下方进行预对位的相应位置；

（2）预对位：对位相机A和对位相机B上下自动调整焦距并进行X方向滑动、第一驱动龙门进行Y方向的滑动来扫描产品边角的四个点，然后整体扫描产品的尺寸值，计算出整个产品的版面以及相对于四个点的位置关系；

（3）二次对位：二次对位相机A和二次对位相机B扫描预对位扫描过的任意点，根据这个点，取得对比数据，快速找到成像曝光位置；

（4）曝光：镜筒组根据预对位和二次对位的数据，快速调整X、Y、Z三个方向的距离，然后第二驱动龙门沿Y方向移动，进行对产品成像曝光。

5.根据权利要求4所述的一种双工位直投式光刻机的曝光方法，其特征在于：所述输送带由电机驱动。

6.根据权利要求4所述的一种双工位直投式光刻机的曝光方法，其特征在于：所述第一驱动龙门和第二驱动龙门下方设有电机且通过电机驱动在Y向线性导轨上移动。

7.根据权利要求4所述的一种双工位直投式光刻机的曝光方法，其特征在于：所述步骤（2）中扫描产品的尺寸值包括产品横向、纵向及对角线的尺寸。

8.根据权利要求4所述的一种双工位直投式光刻机的曝光方法，其特征在于：所述步骤（4）中快速调整X、Y、Z三个方向的距离，X方向由第二X向轴进行调整，Y方向由第二驱动龙门进行调整，Z方向由镜筒组上下移动来调整，X、Y、Z三个方向根据扫描的数据调整到所需要的位置后进行曝光。

9.根据权利要求4所述的一种双工位直投式光刻机的曝光方法，其特征在于：所述预对位、二次对位和曝光时，输送带内设有的吸盘通过抽空气产生负压来吸附住产品，使产品没有任何方向的移动。

10.根据权利要求4所述的一种双工位直投式光刻机的曝光方法，其特征在于：所述镜筒组通过光源把图像信息经过一定倍率投射到产品表面，完成曝光成像。