[发明专利]一种双工位直投式光刻机及其曝光方法

说明书

本发明公开了一种双工位直投式光刻机及其曝光方法，包括底座、输送带、Y向线性导轨、第一驱动龙门、第二驱动龙门、第一X向轴、第二X向轴和镜筒组，底座上设有输送带，输送带内设有第一吸盘和第二吸盘，底座上位于输送带一侧设有Y向线性导轨，Y向线性导轨上连接有第一驱动龙门和第二驱动龙门，第一驱动龙门上设有第一X向轴，第一X向轴上设有对位相机A和对位相机B，第二驱动龙门上设有第二X向轴，第二X向轴上设有二次对位相机A和二次对位相机B，二次对位相机A和二次对位相机B之间设有镜筒组，本发明采用双工位双驱动形式，分离了预对位和二次对位，曝光和对位在两个工位上完成，结构稳定，曝光效率高，大幅度提高了生产效率。

技术领域：

本发明属于光源直投式曝光机技术领域，具体为一种双工位直投式光刻机及其曝光方法。

背景技术：

光源直投式光刻机设备又称影像直接投射设备，可应用于半导体和PCB以及平面成像领域的研发、生产。直投式是利用图形发生器取代传统的掩模技术，直接将计算机的图形数据曝光到产品上，可有效节省成本和提高效率。为了进一步提升直投式曝光机的效率，完全创新式的双工位曝光设备在效率上又上了一个较大的台阶。传统曝光机的CCD对位和曝光是在同一工位上，先对位后曝光。双工位把CCD对位和曝光分开来做，利用输送带形式，形成流水线作业。

发明内容：

针对上述问题，本发明要解决的技术问题是提供一种双工位直投式光刻机及其曝光方法。

本发明的一种双工位直投式光刻机，包括底座、输送带、Y向线性导轨、第一驱动龙门、第二驱动龙门、第一X向轴、第二X向轴和镜筒组，所述底座上设有输送带，所述输送带内设有第一吸盘和第二吸盘，所述底座上位于输送带一侧设有Y向线性导轨，所述Y向线性导轨上连接有可沿Y向线性导轨Y方向滑动的第一驱动龙门和第二驱动龙门，所述第一驱动龙门和第二驱动龙门位于输送带外侧，所述第一驱动龙门上设有第一X向轴，所述第一X向轴上设有可沿第一X向轴X方向滑动的对位相机A和对位相机B，所述对位相机A和对位相机B均可沿第一X向轴Z方向滑动，所述第二驱动龙门上设有第二X向轴，所述第二X向轴上设有可沿第二X向轴X方向滑动的二次对位相机A和二次对位相机B，所述二次对位相机A和二次对位相机B之间设有可沿第二X向轴X方向滑动的镜筒组，所述二次对位相机A、二次对位相机B和镜筒组均可沿第二X向轴Z方向滑动。

优选的，所述第一驱动龙门和第二驱动龙门呈倒U型结构。

优选的，所述镜筒组通过镜筒组安装板连接在第二X向轴上。

本发明的一种双工位直投式光刻机的曝光方法，包括以下步骤：

（1）输送产品：先将需曝光的产品放上输送带，输送带载着产品沿着Y方向移动，向前间歇输送产品至第一驱动龙门下方进行预对位的相应位置；

（2）预对位：对位相机A和对位相机B上下自动调整焦距并进行X方向滑动、第一驱动龙门进行Y方向的滑动来扫描产品边角的四个点，然后整体扫描产品的尺寸值，计算出整个产品的版面以及相对于四个点的位置关系；

（3）二次对位：二次对位相机A和二次对位相机B扫描预对位扫描过的任意点，根据这个点，取得对比数据，快速找到成像曝光位置；

（4）曝光：镜筒组根据预对位和二次对位的数据，快速调整X、Y、Z三个方向的距离，然后第二驱动龙门沿Y方向移动，进行对产品成像曝光。

优选的，所述输送带由电机驱动。

优选的，所述第一驱动龙门和第二驱动龙门下方设有电机且通过电机驱动在Y向线性导轨上移动。

优选的，所述步骤（2）中扫描产品的尺寸值包括产品横向、纵向及对角线的尺寸。