[发明专利]缺陷检查系统及缺陷检查方法

权利要求书

1.一种缺陷检查系统，其特征在于，具备：

光源，其向检查对象照射光；

摄像部，其按离散时间拍摄二维图像，该二维图像基于从所述光源向所述检查对象照射并透过所述检查对象或在所述检查对象上反射后的所述光而形成；

输送部，其将所述检查对象相对于所述光源及所述摄像部沿着输送方向相对地输送；以及

图像处理部，其对由所述摄像部拍摄出的所述二维图像的图像数据进行处理，

所述摄像部拍摄出在与所述二维图像的所述输送方向一致的方向上亮度发生变化的所述二维图像，

所述图像处理部具有：

列分割处理部，其将所述二维图像处理成列分割图像的所述图像数据，所述列分割图像通过将所述二维图像分割为沿着所述输送方向排列的多个列、并使由所述摄像部按所述离散时间拍摄出的所述二维图像各自中的相同位置的所述列依照时间序列的顺序排列而成；

分类部，其将由所述列分割处理部处理得到的各所述列分割图像按照预先设定的规则分类为两个以上的列分割图像组；

合并部，其针对由所述分类部分类到相同的所述列分割图像组的各所述列分割图像，将对所述检查对象的相同位置进行拍摄得到的所述图像数据的像素的值彼此合并，按所述列分割图像组生成图像合并数据；以及

分割输出部，其将由所述合并部按所述列分割图像组生成的所述图像合并数据按照预先设定的规则进行分割并输出，

所述合并部针对分类到相同的所述列分割图像组的各所述列分割图像，根据对所述检查对象的相同位置进行拍摄得到的所述图像数据的所述像素的亮度相对于基准值的高低，来对所述像素赋予具有正负的符号的差量值，并将对所述检查对象的相同位置进行拍摄得到的所述图像数据的所述像素的所述差量值彼此合并，按所述列分割图像组生成图像合并数据，

或者，

所述合并部针对分类到相同的所述列分割图像组的各所述列分割图像，实施增强对所述检查对象的相同位置进行拍摄得到的所述图像数据的彼此相邻的所述像素的亮度变化的增强处理，并将对所述检查对象的相同位置进行拍摄得到的所述图像数据的像素的实施所述增强处理后的值彼此合并，按所述列分割图像组生成图像合并数据。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查系统，其中，

由所述摄像部按离散时间拍摄的所述二维图像具有明部、暗部、以及所述明部与所述暗部之间的分界部，

所述输送部将所述检查对象相对于所述摄像部沿着与所述明部、所述暗部及所述分界部相交的所述输送方向相对地输送。

3.根据权利要求2所述的缺陷检查系统，其中，

所述分类部将由所述列分割处理部处理得到的各所述列分割图像分类为：通过使所述二维图像各自中的所述明部的所述列依照时间序列的顺序排列而成的所述列分割图像的所述列分割图像组；通过使所述二维图像各自中的所述暗部的所述列依照时间序列的顺序排列而成的所述列分割图像的所述列分割图像组；以及通过使所述二维图像各自中的所述分界部的所述列依照时间序列的顺序排列而成的所述列分割图像的所述列分割图像组。

4.根据权利要求2或3所述的缺陷检查系统，其中，

所述缺陷检查系统还具备遮光体，该遮光体位于所述光源与所述检查对象之间，并对从所述光源向所述检查对象照射的所述光的一部分进行遮挡，从而在由所述摄像部按离散时间拍摄的所述二维图像上形成所述明部、所述暗部及所述分界部，

所述输送部将所述检查对象相对于所述光源、所述遮光体及所述摄像部沿着与所述明部、所述暗部及所述分界部相交的所述输送方向相对地输送。

5.根据权利要求2或3所述的缺陷检查系统，其中，

所述分割输出部将由所述合并部按所述列分割图像组生成的所述图像合并数据分割为如下各像素并输出，所述各像素是指：作为对所述检查对象的相同位置进行拍摄得到的所述图像合并数据的所述像素且所述明部、所述暗部及所述分界部处的亮度为任意的明阈值以上的所述像素；作为对所述检查对象的相同位置进行拍摄得到的所述图像合并数据的所述像素且所述明部、所述暗部及所述分界部处的亮度为任意的暗阈值以下的所述像素；以及作为对所述检查对象的相同位置进行拍摄得到的所述图像合并数据的所述像素且所述明部、所述暗部及所述分界部处的亮度的变化的幅度为任意的变化阈值以上的所述像素。