[发明专利]缺陷检查系统及缺陷检查方法

说明书

本发明提供缺陷检查系统及缺陷检查方法。在缺陷检查系统(1)中，由摄像部(3)拍摄出在输送方向(X)上亮度发生变化的二维图像，由列分割处理部(9)处理成使二维图像的相同位置的列依照时间序列的顺序排列而成的列分割图像的图像数据，由分类部(10)将不同的亮度的列分割图像分类为多个列分割图像组，由合并部(11)将在列分割图像中对检查对象(T)的相同位置进行拍摄得到的图像数据的像素值彼此合并，按列分割图像组生成图像合并数据，由分割输出部(12)按照预先设定的规则对图像合并数据进行分割并输出，按基于预先设定的规则进行的分割而使图像合并数据的图像的呈现方式不同，容易识别缺陷的类别。

技术领域

本发明涉及缺陷检查系统及缺陷检查方法。

背景技术

作为基于检查对象的拍摄图像来对检查对象的缺陷进行检查的缺陷检查系统，例如已知有检测偏振膜及相位差膜等光学膜、电池的隔膜所使用的层叠膜等的缺陷的缺陷检查系统。这种缺陷检查系统沿着输送方向输送膜，按离散时间拍摄膜的二维图像，基于拍摄出的二维图像来进行缺陷检查。例如，日本国专利第4726983号的系统生成列分割图像，该列分割图像通过将二维图像分割为沿着输送方向排列的多个列、并使按离散时间拍摄出的二维图像各自中的相同位置的列依照时间序列的顺序排列而成。列分割图像被处理成增强了亮度变化的缺陷增强处理图像。针对缺陷增强处理图像，将对检查对象的相同位置进行拍摄得到的缺陷增强处理图像的图像数据的像素的值彼此累计来进行合并。由此，容易确定膜的缺陷的有无、膜的缺陷的位置。

此外，膜的缺陷存在突出的凸缺陷、凹陷的凹缺陷等类别。在缺陷检查系统中，不仅是缺陷的有无、缺陷的位置，也希望识别缺陷的类别。然而，在上述技术中，缺陷增强处理图像的图像数据的像素的值彼此累计而被合并，因此缺陷的突出、凹陷的信息消失或彼此抵消，难以识别缺陷的类别，希望加以改善。

发明内容

于是，本发明的目的在于提供容易识别缺陷的类别的缺陷检查系统及缺陷检查方法。

本发明涉及一种缺陷检查系统，其具备：光源，其向检查对象照射光；摄像部，其按离散时间拍摄二维图像，该二维图像基于从光源向检查对象照射并透过检查对象或在检查对象上反射后的光而形成；输送部，其将检查对象相对于光源及摄像部沿着输送方向相对地输送；以及图像处理部，其对由摄像部拍摄出的二维图像的图像数据进行处理，摄像部拍摄出在与二维图像的输送方向一致的方向上亮度发生变化的二维图像，图像处理部具有：列分割处理部，其将二维图像处理成列分割图像的图像数据，列分割图像通过将二维图像分割为沿着输送方向排列的多个列、并使由摄像部按离散时间拍摄出的二维图像各自中的相同位置的列依照时间序列的顺序排列而成；分类部，其将由列分割处理部处理得到的各列分割图像按照预先设定的规则分类为两个以上的列分割图像组；合并部，其针对由分类部分类到相同的列分割图像组的各列分割图像，将对检查对象的相同位置进行拍摄得到的图像数据的像素的值彼此合并，按列分割图像组生成图像合并数据；以及分割输出部，其将由合并部按列分割图像组生成的图像合并数据按照预先设定的规则进行分割并输出。