[发明专利]透射波前检测干涉仪

权利要求书

1.一种透射波前检测干涉仪，其构成包括：光源单元(1)、传输光纤(1-O)、准直单元(2)、第一转折镜(3)、被测介质(4)、第二转折镜(5)、汇聚镜(6)、波前检测单元(9)和控制单元(10)；光源单元(1)输出光通过传输光纤(1-O)输入准直单元(2)，准直单元(2)将输入光准直为平行光输出；准直单元(2)输出光经第一转折镜(3)调整传输方向后，通过被测介质(4)，然后再通过第二转折镜(5)调整传输方向后，入射至汇聚镜(6)；经过汇聚镜(6)后，平行光转换为汇聚光；汇聚光输入波前检测单元(9)；控制单元(10)控制波前检测单元(9)工作，并计算入射波前相位信息；所述的波前检测单元(9)包含波前接收模块(9-S)；所述的波前接收模块(9-S)是波前传感器模块，或干涉仪模块；所述的光源单元(1)包括光源(1-1)和可调衰减器(1-3)；所述的光源(1-1)是光纤耦合输出光源；所述的光源(1-1)输出光输入可调衰减器(1-3)，对输出光功率进行调节后，耦合入传输光纤(1-O)；所述的准直单元(2)的输入端位于准直透镜(2-2)的焦点上；所述的传输光纤(1-O)是单模光纤或保偏光纤；其特征在于，所述的波前接收模块(9-S)是干涉仪模块，所述的光源单元(1)包括分束器(1-2)，分束器(1-2)连接于光源(1-1)之后，将光源(1-1)输出光分为两路，分别输出至第一可调衰减器(1-3-1)和第二可调衰减器(1-3-2)，第一可调衰减器(1-3-1)输出光耦合入第一传输光纤(1-O1)，第二可调衰减器(1-3-2)输出光耦合入第二传输光纤(1-O2)；第一传输光纤(1-O1)与准直单元(2)连接，第二传输光纤(1-O2)与干涉仪模块(9-S)的参考光输入端(9-S-IR)相连接；经过汇聚镜的汇聚光输入干涉仪模块(9-S)的测量光输入端(9-S-IM)；所述的干涉仪模块包括干涉仪模块分光镜(9-S-I3)和二维光电探测器(9-S-I4)；所述的干涉仪模块采用干涉仪模块分光镜(9-S-I3)将从参考光输入端(9-S-IR)入射的参考光和从测量光输入端(9-S-IM)入射的测量光合束，发生干涉，并由二维光电探测器(9-S-I4)接收干涉条纹；二维光电探测器(9-S-I4)接收准直光束或发散光束。

2.根据权利要求1所述的透射波前检测干涉仪，其特征在于所述的准直单元(2)包含准直透镜(2-2)，所述的准直透镜(2-2)是单片球面或非球面透镜，或者多片透镜，或者多组分立的透镜组。

3.根据权利要求1所述的透射波前检测干涉仪，其特征在于所述的第一转折镜(3)和第二转折镜(5)均包括反射镜和二维角度调整架，所述的反射镜安装在二维角度调整架上。

4.根据权利要求1所述的透射波前检测干涉仪，其特征在于所述的波前传感器是哈特曼传感器，或剪切干涉仪。

5.根据权利要求1所述的透射波前检测干涉仪，其特征在于所述的汇聚镜(6)与波前检测单元(9)之间有辅助对准分光镜(7)，辅助对准分光镜(7)将一部分汇聚光分束汇聚至辅助对准光接收单元(8)的接收面。