[发明专利]透射波前检测干涉仪有效
申请号: | 201810804999.3 | 申请日: | 2018-07-20 |
公开(公告)号: | CN109029245B | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 唐锋;王向朝;徐静浩;卢云君;郭福东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透射 检测 干涉仪 | ||
一种透射波前检测干涉仪,包括:光源单元、传输光纤、准直单元、第一转折镜、被测介质、第二转折镜、汇聚镜、波前检测单元和控制单元;该干涉仪采用光纤进行光路布局,具有结构简单,易于装调、抗干扰性强、信号强度可调等优点,并且,系统进行双波长测量扩展时,采用准直单元双色分光镜、干涉仪单元双色分光镜,能够方便、低成本的建立双波长透射波前检测系统。
技术领域
本发明涉及干涉测量领域,特别是一种透射波前检测干涉仪。
背景技术
透射波前是评价光学介质的重要参数。如成像系统的透射波前反映了成像系统的成像质量;流场的透射波前能够反映流场的密度分布和温度分布。
自由空间光路马赫泽德干涉仪是测量透射波前的一种常见系统(参见在先技术一:陈志敏,王海龙,殷木良,激光双曝光全息干涉技术在测取射流密度场中的应用,应用激光,2007,27(3):201-204.),但是该系统光路结构复杂,系统成本高,使用过程中装调困难,光路易受环境干扰。
法国Phasics公司提出采用光栅剪切干涉波前传感器进行透射波前测量,可以进行等离子体密度检测(参加在先技术二:G.R.Plateau,N.H.Matlis,al,Wavefront-sensor-based electron density measurements for laser-plasma Accelerators,LOASIS Program,Lawrence Berkeley National Laboratory(LBNL),REVIEW OFSCIENTIFIC INSTRUMENTS 81,033108,2010.)。但是该系统数据处理步骤复杂,且不能测量透射波前的波前倾斜信息。
上述在先技术均采用自由空间光路,实验调试复杂,成本高;此外,上述技术采用多个波长的光源进行同时检测时,均需要消色差光学元件,增加了系统成本;而多波长检测能够用来扩展系统测量动态范围,也可以依据不同波长的透射波前推算多种物理参数。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种透射波前检测干涉仪,该干涉仪采用光纤进行光路布局,具有结构简单,易于装调、抗干扰性强的优点;并且,该方案能够方便、低成本的建立双波长透射波前检测系统。
本发明的技术解决方案如下:
一种透射波前检测干涉仪,其特点在于其构成包括:光源单元、传输光纤、准直单元、第一转折镜、被测介质、第二转折镜、汇聚镜、波前检测单元、控制单元;
上述各组成部分的位置与连接关系是:光源单元输出光通过传输光纤输入准直单元,准直单元将输入光准直为平行光输出;准直单元输出光经第一转折镜调整传输方向后,通过被测介质,然后再通过第二转折镜调整传输方向后,入射至汇聚镜;经过汇聚镜后,平行光转换为汇聚光;汇聚光汇聚输入波前检测单元;控制单元控制波前检测单元工作,并计算入射波前相位信息;所述的波前检测单元包含波前接收模块;所述的波前接收模块是波前传感器模块,或干涉仪模块;
所述的光源单元包括光源和可调衰减器;所述的光源是光纤耦合输出光源;所述的光源输出光输入可调衰减器,对输出光功率进行调节后,耦合入传输光纤;
所述的准直单元的输入端位于准直透镜的焦点上;
所述的传输光纤是单模光纤或保偏光纤;
所述的准直单元包含准直透镜,所述的准直透镜是单片球面或非球面透镜,或者多片透镜,或者多组分立的透镜组;
所述的第一转折镜和第二转折镜均包括反射镜和二维角度调整架,所述的反射镜安装在二维角度调整架上;
所述的波前接收模块是波前传感器模块时,所述的波前接收模块将入射光准直后由波前传感器接收,或者由波前传感器直接接收发散光束;所述的波前传感器是哈特曼传感器,或剪切干涉仪;
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