[发明专利]一种半导体激光器脉冲驱动测试方法

说明书

一种半导体激光器脉冲驱动测试方法，包括如下步骤：T1时间段进行脉冲峰值测试，主要测试激光器的的抗大电流冲击性能。T2时间段为高频测试，主要是测试激光器在高频率下可靠性性能，T3时间段测试是进行LD可靠性分析，是用于T1阶段和T2阶段测试激光器管子性能后，用于长期考评或是按照客户反馈的数据进行调整。通过三个阶段的测试可以对激光器的各项性能实现一个完整可靠的测试，提高了激光器测试的准确性和全面性。

技术领域

本发明涉及半导体测试技术领域，具体涉及一种半导体激光器脉冲驱动测试方法。

背景技术

半导体激光器老化测试，是为了在出厂前通过此测试筛选出可靠性差的产品。之前老化测试一般均使用的直流测试，或是恒流，或是恒功率测试。随着市场需求的不断变化，为了减少LD的工作时间，提高LD期间的发光强度。越来越多的厂家采用脉冲电流驱动作为LD工作驱动电流。为顺应市场变化、测试所生产的LD在脉冲下的可靠性以及探索在脉冲驱动下LD失效的临界点，故此设计脉冲驱动测试方法。在高频脉冲驱动下肉眼基本无法分辨是否为脉冲驱动，但在相同的有效电流下脉冲驱动的瞬时亮度更高，在标线仪市场等应用广泛。

LD脉冲老化测试装置的组装受制于脉冲电源。为方便测试及监控电流一般采用串联测试，由单极性电源输出如附图1所示的脉冲信号加载在所有管子上。但是其发出的脉冲信号的频率与电流信号强度为规则的矩形波，其无法满足激光器的各项指标的测试。

发明内容

本发明为了克服以上技术的不足，提供了一种对激光器进行脉冲峰值测试、高频测试以及恒定峰值电流、恒定频率测试的半导体激光器脉冲驱动测试方法。

本发明克服其技术问题所采用的技术方案是：

一种半导体激光器脉冲驱动测试方法，包括如下步骤：

a)在T1时间段内半导体激光器老化测试仪自0时刻起向激光器输出N个等频率的脉冲信号，每个脉冲信号的输出时间为X_n，各个脉冲信号的峰值电流强度Y₁至Y_n按公式Y_n＝k₁＜X_n＞*A所计算的函数变化，式中k₁为斜率，当X_n-[X_n]＞D时A＝0，当X_n-[X_n]＜D时A＝1，D为占空比，其取值为0.1-0.99，[X_n]为取整函数，其取值为不大于X_n的最大整数，＜X_n＞为向上取整函数；

b)在T1时间段后的T2时间段内半导体激光器老化测试仪以相同的峰值电流向激光器输出M个等峰值电流强度的脉冲信号，各个脉冲信号的脉冲信号的频率F(X₁)至F(X_n)按公式F(X_n)＝k₂＜X_m＞*A所计算的函数变化，式中k₂为斜率，X_m为T2时间段每个脉冲信号的输出时的时间，＜X_m＞为向上取整函数；

c)在T2时间段后的T3时间段内半导体激光器老化测试仪以相同的峰值电流及相同的频率输出P个脉冲信号。

优选的，步骤a)中k₁其取值为1≤k₁≤3，单位为Hz/s。

优选的，步骤a)中X_n≤3×P_额定，P_额定为半导体激光器的额定功率。

优选的，步骤b)中1≤k₂≤3，k₂单位为Hz/s。

优选的，步骤b)中F(X_n)小于等于激光器在高频脉冲电流下的失效临界点。