[发明专利]金属掩膜板的仿真方法和装置

权利要求书

1.一种金属掩膜板的仿真方法，其特征在于，包括：

将金属掩膜板的蒸镀区域划分成叠设的n层板状模型，n为2～6；

将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果，包括：获取每层板状模型的空洞百分比，根据每层板状模型的空洞百分比计算每层板状模型的材料属性；根据每层板状模型的材料属性，将每层板状模型等效为材料属性相同、厚度均匀、没有开口的等效板材；将n层等效板材作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果。

2.根据权利要求1所述的仿真方法，其特征在于，所述材料属性包括弹性模量。

3.根据权利要求1所述的仿真方法，其特征在于，获取每层板状模型的空洞百分比中，以每层中心位置的开孔面积作为空洞的计算面积。

4.根据权利要求1所述的仿真方法，其特征在于，将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果，包括：

对每个板状模型的所有开孔进行建模，构建每个板状模型的数学模型；将n层数学模型组合，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果。

5.根据权利要求1～4任一所述的仿真方法，其特征在于，所述力学模拟包括拉伸模拟，所述模拟结果包括张网拉力和应力应变分布，所述n为4。

6.一种金属掩膜板的仿真装置，其特征在于，包括：

划分模块，用于将金属掩膜板的蒸镀区域划分成叠设的n层板状模型，n为2～6；

模拟模块，用于将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果；所述模拟模块包括：

转换单元，用于将每层板状模型等效为厚度均匀、没有开口的等效板材；

模拟单元，用于将所述n层等效板材作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果；

所述转换单元包括：

计算子单元，用于获取每层板状模型的空洞百分比，根据每层板状模型的空洞百分比计算每层板状模型的材料属性；

转换子单元，用于根据每层板状模型的材料属性，将每层板状模型等效为材料属性相同、厚度均匀、没有开口的等效板材。

7.根据权利要求6所述的仿真装置，其特征在于，所述材料属性包括弹性模量。

8.根据权利要求6所述的仿真装置，其特征在于，获取每层板状模型的空洞百分比中，以每层中心位置的开孔面积作为空洞的计算面积。

9.根据权利要求6所述的仿真装置，其特征在于，

所述模拟模块具体用于，对每个板状模型的所有开孔进行建模，构建每个板状模型的数学模型；将所述n层数学模型组合，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果。

10.根据权利要求6～9任一所述的仿真装置，其特征在于，所述力学模拟包括拉伸模拟，所述模拟结果包括张网拉力和应力应变分布，所述n为4。

11.一种介质，其特征在于，其上存储有可在处理器上运行的计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时实现如权利要求1至5中任一项所述的金属掩膜板的仿真方法的步骤。