[发明专利]金属掩膜板的仿真方法和装置

说明书

本发明实施例提供一种金属掩膜板的仿真方法和装置。金属掩膜板的仿真方法包括：将金属掩膜板的蒸镀区域划分成叠设的n层板状模型，n为2～6；将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果。本发明通过将金属掩膜板划分成多个板状模型，使得所构建的模型充分考虑到金属掩膜板上开口的异形结构，因而能够准确的模拟金属掩膜板的真实结构，极大地节约了设计成本，缩短了产品开发周期，能够得到精确的模拟结果，可以用于指导金属掩膜板设计和张网工艺设计。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种金属掩膜板的仿真方法和装置。

背景技术

在制备有机发光二极管(Organic Light Emitting，OLED)显示面板过程中，需要将OLED的各层材料蒸镀到基板上，蒸镀过程会使用相应的掩膜板。金属掩膜板(Fine MetalMask，FMM)是电致发光(EL)蒸镀工艺中使用的掩膜板，主要用于蒸镀有机发光材料，形成显示面板的红R/绿G/蓝B像素。图1为一条金属掩膜板的结构示意图，图2为图1中B区域的放大图。如图1和图2所示，一条金属掩膜板用于蒸镀多个显示面板的有效显示区域，每个显示面板的有效显示区域包括多个阵列排布的像素，因此一条金属掩膜板包括多个与显示面板有效显示区域相对应的蒸镀区域AA，每个蒸镀区域AA包括多个与有效显示区域内各个像素相对应的开孔。

金属掩膜板是一种表面形成有千百万个微米级开孔的金属薄板，厚度仅为5μm～40μm，金属掩膜板这种极薄且多孔的特性使其对外力作用非常敏感。EL蒸镀工艺中，金属掩膜板需要进行张网工艺，由多条金属掩膜板组装成一张完整的掩膜板。在张网工艺中，因拉力作用使得金属掩膜板非常容易发生褶皱变形。一旦发生褶皱变形，不仅会导致后续蒸镀过程中金属掩膜板与基板贴合不紧密，还会使得蒸镀有效面积变小和蒸镀厚度变薄，甚至出现蒸镀不上材料的情况，出现shadow不良，Shadow不良是目前显示面板EL蒸镀工艺中的重要不良之一，会导致显示面板出现画面混色等缺陷。

因此，了解金属掩膜板在张网工艺中的拉伸位移等性能对金属掩膜板设计和张网工艺设计至关重要。然而，通过实物测试方式不仅会大幅度增加设计成本，而且会增加开发周期。

发明内容

本发明实施例所要解决的技术问题是，提供一种金属掩膜板的仿真方法和装置，以节约设计成本和缩短开发周期。

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种金属掩膜板的仿真方法，包括：

将金属掩膜板的蒸镀区域划分成叠设的n层板状模型，n为2～6；

将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果。

可选地，将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果，包括：

将每层板状模型等效为厚度均匀、没有开口的等效板材；

将所述n层等效板材作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果。

可选地，将每层板状模型等效为厚度均匀、没有开口的等效板材，包括：

获取每层板状模型的空洞百分比，根据每层板状模型的空洞百分比计算每层板状模型的材料属性；

根据每层板状模型的材料属性，将每层板状模型等效为材料属性相同、厚度均匀、没有开口的等效板材。

可选地，所述材料属性包括弹性模量。

可选地，获取每层板状模型的空洞百分比中，以每层中心位置的开孔面积作为空洞的计算面积。

可选地，将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果，包括：