[发明专利]一种体声波器件及其制备方法

权利要求书

1.一种体声波器件，其特征在于，所述体声波器件包括：

衬底；

位于所述衬底第一表面的第一电极；

位于所述第一电极背向所述衬底一侧表面的压电薄膜；

位于所述压电薄膜背向所述衬底一侧表面的第二电极；其中，所述压电薄膜中位于所述第二电极与所述第一电极相错区域的压电薄膜形成非体声波传播部；

位于所述非体声波传播部的第三电极；其中，所述第三电极与所述第一电极和所述第二电极中的至少一个形成电容；

所述压电薄膜中位于所述第二电极与所述第一电极相对区域的压电薄膜形成体声波传播部；

在所述压电薄膜中所传递的声波仅会在所述体声波传播部进行传播；

所述电容的谐振频率与所述体声波传播部的谐振频率不同。

2.根据权利要求1所述的体声波器件，其特征在于，所述第三电极沿水平方向的截面为U型截面；所述第二电极朝向所述第三电极的端部伸入至所述第三电极。

3.根据权利要求1所述的体声波器件，其特征在于，所述体声波器件还包括：

沿所述压电薄膜厚度方向贯穿所述非体声波传播部的焊盘设置窗口；

位于所述焊盘设置窗口，与所述第一电极电连接的第一焊盘；

位于所述第二电极背向所述衬底一侧表面的第二焊盘。

4.根据权利要求1至3任一项权利要求所述的体声波器件，其特征在于，所述体声波器件还包括：

沿所述压电薄膜厚度方向贯穿所述非体声波传播部的第三电极设置窗口；

所述第三电极位于所述第三电极设置窗口，且所述第三电极与所述第一电极电连接。

5.根据权利要求1至3任一项权利要求所述的体声波器件，其特征在于，所述体声波器件还包括：

沿所述压电薄膜厚度方向延伸至所述非体声波传播部中与所述第一电极相错的区域的第三电极设置窗口；

所述第三电极位于所述第三电极设置窗口，且所述第三电极与所述第二电极电连接。

6.根据权利要求1至3任一项权利要求所述的体声波器件，其特征在于，所述第三电极位于所述非体声波传播部背向所述衬底一侧表面，且所述第三电极与所述第二电极不电连接。

7.根据权利要求1至3任一项权利要求所述的体声波器件，其特征在于，所述第三电极位于所述非体声波传播部朝向所述衬底一侧表面，且所述第三电极与所述第一电极不电连接。

8.一种体声波器件的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

在衬底的第一表面设置第一电极、压电薄膜、第二电极和第三电极，以制成所述体声波器件；其中，所述第一电极位于所述衬底的所述第一表面，所述压电薄膜位于所述第一电极背向所述衬底一侧表面，所述第二电极位于所述压电薄膜背向所述衬底一侧表面，所述压电薄膜中位于所述第二电极与所述第一电极相错区域的压电薄膜为非体声波传播部；所述第三电极位于所述非体声波传播部，所述第三电极与所述第一电极和所述第二电极中的至少一个形成电容；

所述压电薄膜中位于所述第二电极与所述第一电极相对区域的压电薄膜形成体声波传播部；在所述压电薄膜中所传递的声波仅会在所述体声波传播部进行传播；所述电容的谐振频率与所述体声波传播部的谐振频率不同。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述在衬底的第一表面设置第一电极、压电薄膜、第二电极和第三电极包括：

在所述衬底的第一表面设置所述第一电极；

在所述第一电极表面沉积所述压电薄膜；

在所述压电薄膜表面沉积金属层；

图案化所述金属层以在所述压电薄膜表面形成所述第二电极；

刻蚀所述非体声波传播部至所述第一电极，以形成第三电极设置窗口；

在所述第三电极设置窗口中形成所述第三电极。