[发明专利]一种体声波器件及其制备方法

说明书

本发明公开了一种体声波器件，包括衬底；位于衬底第一表面的第一电极；位于第一电极背向衬底一侧表面的压电薄膜；位于压电薄膜背向衬底一侧表面的第二电极；其中，压电薄膜中位于第二电极与第一电极相错区域的压电薄膜形成非体声波传播部；位于非体声波传播部的第三电极；其中，第三电极与第一电极和第二电极中的至少一个形成电容。由于上述第三电极的存在，相当于在体声波器件中集成了一个电容。当包含有该体声波器件的滤波器、双工器或多工器处在工作状态时，上述在体声波器件中集成与体声波器件相互并联的电容可以有效提升滤波器、双工器或多工器的性能。本发明还提供了一种体声波器件的制备方法，所制备的体声波器件同样具有上述有益效果。

技术领域

本发明涉及声波器件领域，特别是涉及一种体声波器件及其制备方法。

背景技术

随着近年来科技不断的进步以及通讯行业的发展，移动终端，例如手机越来越普及。而滤波器作为移动终端中不可缺少的射频器件，也广泛的应用在移动终端中。

现阶段常用的滤波器有声表面波器件和体声波器件。其中体声波器件作为滤波器的一种，因其具有插入损耗低、高滚降特性、功率承受能力强、适用于高频等优势被广泛应用在通讯行业之中。

体声波器件作为滤波器的一种，如何有效提高体声波器件的性能，例如带外抑制、回波损耗等是本领域技术人员急需解决的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种体声波器件，可以有效提升体声波器件的性能；本发明的另一目的在于提供一种体声波器件的制备方法，所制造出的体声波器件具有较高的性能。

为解决上述技术问题，本发明提供一种体声波器件，所述体声波器件包括：

衬底；

位于所述衬底第一表面的第一电极；

位于所述第一电极背向所述衬底一侧表面的压电薄膜；

位于所述压电薄膜背向所述衬底一侧表面的第二电极；其中，所述压电薄膜中位于所述第二电极与所述第一电极相错区域的压电薄膜形成非体声波传播部；

位于所述非体声波传播部的第三电极；其中，所述第三电极与所述第一电极和所述第二电极中的至少一个形成电容。

可选的，所述第三电极沿水平方向的截面为U型截面；所述第二电极朝向所述第三电极的端部伸入至所述第三电极。

可选的，所述体声波器件还包括：

沿所述压电薄膜厚度方向贯穿所述非体声波传播部的焊盘设置窗口；

位于所述焊盘设置窗口，与所述第一电极电连接的第一焊盘；

位于所述第二电极背向所述衬底一侧表面的第二焊盘。

可选的，所述体声波器件还包括：

沿所述压电薄膜厚度方向贯穿所述非体声波传播部的第三电极设置窗口；

所述第三电极位于所述第三电极设置窗口，且所述第三电极与所述第一电极电连接。

可选的，所述体声波器件还包括：

沿所述压电薄膜厚度方向延伸至所述非体声波传播部中与所述第一电极相错的区域的第三电极设置窗口；

所述第三电极位于所述第三电极设置窗口，且所述第三电极与所述第二电极电连接。

可选的，所述第三电极位于所述非体声波传播部背向所述衬底一侧表面，且所述第三电极与所述第二电极不电连接。

可选的，所述第三电极位于所述非体声波传播部朝向所述衬底一侧表面，且所述第三电极与所述第一电极不电连接。

本发明还提供了一种体声波器件的制备方法，所述方法包括：