[发明专利]双面曝光机及双面曝光方法

权利要求书

1.一种双面曝光机，其特征在于，包括：

安装架；

曝光机构，所述曝光机构包括相对设置的第一曝光组件和第二曝光组件，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件均能够沿所述安装架移动；及

装载机构，所述装载机构包括第一装载台和第二装载台，所述第一装载台和所述第二装载台均能够沿所述安装架移动；

所述第一曝光组件和所述第二曝光组件在第一运动状态时形成第一曝光区，所述第一装载台在所述第一曝光区移动、并进行曝光；

所述第一曝光组件和所述第二曝光组件在第二运动状态时形成第二曝光区，所述第二装载台在所述第二曝光区移动、并进行曝光。

2.根据权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，所述安装架还设有工作台，所述工作台设有曝光通孔，所述曝光通孔与所述第一曝光区和所述第二曝光区对应设置，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件分别设于所述工作台的两侧，所述第一装载台和所述第二装载台均沿所述工作台移动。

3.根据权利要求2所述的双面曝光机，其特征在于，所述工作台设有第一轨道和第二轨道，所述第一装载台沿所述第一轨道移动，所述第二装载台沿所述第二轨道移动。

4.根据权利要求2所述的双面曝光机，其特征在于，所述曝光通孔包括第一曝光通孔和第二曝光通孔，所述第一曝光通孔与所述第一曝光区对应设置，所述第二曝光通孔与所述第二曝光区对应设置。

5.根据权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，所述安装架还设有移动导杆和与所述移动导杆配合移动的移动架，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件设于所述移动架。

6.根据权利要求1所述的双面曝光机，其特征在于，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件均沿第一方向移动，所述第一装载台和所述第二装载台均沿第二方向移动。

7.根据权利要求1-6任一项所述的双面曝光机，其特征在于，还包括控制机构，所述控制机构包括控制器，所述控制器用于控制所述第一曝光组件、所述第二曝光组件、所述第一装载台和所述第二装载台的移动。

8.根据权利要求7所述的双面曝光机，其特征在于，还包括检测机构，所述检测机构包括第一检测组件、第二检测组件和第三检测组件，所述第一检测组件、所述第二检测组件和所述第三检测组件均与所述控制器电性连接，所述第一检测组件用于检测所述第一装载台的移动位置，所述第二检测组件用于检测所述第二装载台的移动位置，所述第三检测组件用于检测所述第一曝光组件和所述第二曝光组件的移动位置。

9.根据权利要求7所述的双面曝光机，其特征在于，还包括驱动机构，所述驱动机构包括第一驱动器、第二驱动器和第三驱动器，所述第一驱动器、所述第二驱动器和所述第三驱动器均与所述控制器电性连接，所述第一驱动器用于驱动所述第一装载台移动，所述第二驱动器用于驱动所述第二装载台移动，所述第三驱动器用于驱动所述第一曝光组件和所述第二曝光组件移动。

10.一种双面曝光方法，能够应用于如权利要求1-9任一项所述的双面曝光机，其特征在于，包括以下步骤：

(S1)、第一装载台位于第一初始位置，第二装载台位于第二初始位置，在所述第一装载台装载第一待曝光件；

(S2)、第一曝光组件和第二曝光组件移动至第一区域、并形成第一曝光区；

(S3)、所述第一装载台移动、使所述第一待曝光件通过所述第一曝光区进行曝光、并完成曝光、得到第一曝光成品；同时，在所述第二装载台装载第二待曝光件；

(S4)、所述第一曝光组件和所述第二曝光组件移动至第二区域、并形成第二曝光区；同时，所述第一装载台移动至所述第一初始位置、并卸载所述第一曝光成品；

(S5)、所述第二装载台移动、使所述第二待曝光件通过所述第二曝光区进行曝光、并完成曝光、得到第二曝光成品；同时，在所述第一装载台装载下一个第一待曝光件；

(S6)、所述第一曝光组件和所述第二曝光组件移动至所述第一区域、并形成所述第一曝光区；同时，所述第二装载台移动至所述第二初始位置、并卸载所述第二曝光成品。