[发明专利]双面曝光机及双面曝光方法在审
申请号: | 201810836041.2 | 申请日: | 2018-07-26 |
公开(公告)号: | CN108897197A | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
发明(设计)人: | 汪孝军;廖平强;张胜 | 申请(专利权)人: | 中山新诺科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 刘培培 |
地址: | 528437 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装载台 曝光 双面曝光机 曝光组件 曝光区 双面曝光 安装架 移动 运动状态 装载 自动化操作 曝光过程 曝光效率 相对设置 正反面 翻转 卸载 | ||
本发明涉及一种双面曝光机及双面曝光方法,双面曝光机包括安装架;相对设置的第一曝光组件和第二曝光组件、且均能够沿安装架移动;及均能够沿安装架移动的第一装载台和第二装载台。双面曝光方法应用于双面曝光机。通过第一曝光组件和第二曝光组件的设置,在第一运动状态时形成第一曝光区,第一装载台在第一曝光区移动并进行第一待曝光件的曝光,同时,第二装载台装载第二待曝光件,第二运动状态时形成第二曝光区,第二装载台在第二曝光区移动并进行第二待曝光件的曝光,同时,第一装载台卸载或装载下一个第一待曝光件,不仅无需翻转即可实现正反面曝光,同时,充分利用曝光过程的时间,提高曝光效率,并利于实现自动化操作。
技术领域
本发明涉及双面曝光技术领域,特别是涉及一种双面曝光机及双面曝光方法。
背景技术
传统的双面曝光机,通常采用菲林转印进行双面电路板的曝光。曝光前,需要先制作待转印图案的菲林;然后,将带有两面图案的菲林分别固定在上下两面玻璃上;接着,将待转印图案的电路板夹在上下两块玻璃之间,使用蓝紫色高亮度光源进行曝光,将线路图案转印到线路板上,完成双面曝光。而对于激光直写曝光机,通常采用单面曝光。先对电路板的其中一面进行曝光,待曝光完成后进行翻转,然后再对电路板的另一面进行曝光,最后完成对电路板的双面曝光。
然而,激光直写曝光机进行双面曝光时,需进行翻转操作,而翻转操作必然会产生翻转后进行对位的问题,不仅增加了曝光流程,同时也会因对位精度问题影响曝光精度,从而影响最终的曝光效果。
发明内容
基于此,有必要提供一种双面曝光机及双面曝光方法。该双面曝光机在进行曝光时无需翻转,减少曝光流程,提高曝光精度,进而提升曝光成像质量;该双面曝光方法应用于前述的双面曝光机,曝光效率更高,且便于实现自动化操作。
其技术方案如下:
一方面,提供了一种双面曝光机,包括安装架;曝光机构,所述曝光机构包括相对设置的第一曝光组件和第二曝光组件,所述第一曝光组件和所述第二曝光组件均能够沿所述安装架移动;及装载机构,所述装载机构包括第一装载台和第二装载台,所述第一装载台和所述第二装载台均能够沿所述安装架移动;所述第一曝光组件和所述第二曝光组件在第一运动状态时形成第一曝光区,所述第一装载台在所述第一曝光区移动、并进行曝光;所述第一曝光组件和所述第二曝光组件在第二运动状态时形成第二曝光区,所述第二装载台在所述第二曝光区移动、并进行曝光。
上述双面曝光机,通过第一曝光组件和第二曝光组件的设置,在第一运动状态时形成第一曝光区,第一装载台在第一曝光区移动并进行第一待曝光件的曝光,同时,第二装载台装载第二待曝光件,第二运动状态时形成第二曝光区,第二装载台在第二曝光区移动并进行第二待曝光件的曝光,同时,第一装载台卸载或装载下一个第一待曝光件,不仅无需翻转即可实现正反面曝光,同时,充分利用曝光过程的时间,提高曝光效率,并利于实现自动化操作。
下面进一步对技术方案进行说明:
在其中一个实施例中,安装架还设有工作台,工作台设有曝光通孔,曝光通孔与第一曝光区和第二曝光区对应设置,第一曝光组件和第二曝光组件分别设于工作台的两侧,第一装载台和第二装载台均沿工作台移动。
在其中一个实施例中,工作台设有第一轨道和第二轨道,第一装载台沿第一轨道移动,第二装载台沿第二轨道移动。
在其中一个实施例中,曝光通孔包括第一曝光通孔和第二曝光通孔,第一曝光通孔与第一曝光区对应设置,第二曝光通孔与第二曝光区对应设置。
在其中一个实施例中,安装架还设有移动导杆和与移动导杆配合移动的移动架,第一曝光组件和第二曝光组件设于移动架。
在其中一个实施例中,第一曝光组件和第二曝光组件均沿第一方向移动,第一装载台和第二装载台均沿第二方向移动。
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