[发明专利]一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)混合溶液的制备：将醋酸锌和乙醇按0.08-0.8g:20-160mL的比例制备混合溶液，搅拌30-70min，制得混合溶液A；然后将醋酸锌、碳酸锌、乙醇按0.08-0.8g:0.035-0.4g:20-160mL的比例制备混合溶液，搅拌30-70min，制得混合溶液B；

(2)薄膜C的制备：在衬底上滴加4-12滴混合溶液A，接着第一次利用旋涂仪以350-500r/min的速度旋转衬底30-90s，接着第二次以1200-1600r/min的速度旋转10-50s，接着第三次以3500-5500r/min的速度旋转50-140s，并在旋转过程中滴加4-15滴混合溶液A，制得薄膜C，备用；

(3)低温烘干：在60-130℃下烘烤薄膜C 8-40min，备用；

(4)以步骤(3)所得薄膜为基础，依次重复步骤(2)和(3)5-25次，制得薄膜D；

(5)以薄膜D为基础，使用混合溶液B替代步骤(2)中的混合溶液A，依次按照步骤(2)和(3)重复1-3次，制得多层薄膜E；

(6)高温烧结：将多层薄膜E以每分钟3-8℃的速率升温到350-650℃，保温0.5-3h，制得ZnO纳米网格样品；

(7)制备金属纳米粒子：将经步骤(6)制备好的ZnO纳米网格样品转移到喷金仪中，并在0.6-1.0mbar，9-11mA的电流下溅射金属靶材5-10s，获得直径为1-15nm的金属纳米粒子；

(8)制备电极：在步骤(7)的基础上使用掩膜板遮挡，在0.6-1.0mbar，9-11mA的电流下分别溅射两种靶材40-140s，然后在150-450℃下进行合金化处理1-3h，获得电极，最后组装获得所述紫外光电探测器。

2.根据权利要求1所述的一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，步骤(1)中制备混合溶液A的醋酸锌和乙醇的比例为0.1-0.5g:30-120mL，制备混合溶液B的醋酸锌、碳酸锌、乙醇的比例为0.1-0.5g:0.035-0.2g:30-120mL。

3.根据权利要求1所述的一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，步骤(3)中在80-120℃下烘烤薄膜C。

4.根据权利要求1所述的一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，步骤(6)中以每分钟3-5℃的速率升温到450-550℃，保温1-2h。

5.根据权利要求1所述的一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，步骤(7)中在0.8mbar下，使用10mA的电流溅射金属靶材。

6.根据权利要求1所述的一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，步骤(8)中在200-400℃下进行合金化处理1-2h。

7.根据权利要求1所述的一种基于ZnO纳米网格的紫外光电探测器的制备方法，其特征在于，步骤(8)中靶材为Pt、Cr。