[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 201810847573.6 | 申请日: | 2018-07-27 |
公开(公告)号: | CN110289249A | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 下川一生;内田雅之;东条启;田边成俊;伊藤宜司 | 申请(专利权)人: | 东芝存储器株式会社 |
主分类号: | H01L23/535 | 分类号: | H01L23/535;H01L25/04 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 杨林勳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体芯片 半导体装置 接合 电极垫 金属线 芯片群 下段 线接合 薄化 | ||
1.一种半导体装置,具备:
配线衬底;
第1芯片群,具有在所述配线衬底之上呈阶梯状积层的多个第1半导体芯片;
第2芯片群,具有在所述第1芯片群之上呈阶梯状积层的多个第2半导体芯片;
第3半导体芯片,设置在所述第1芯片群与所述第2芯片群之间;
第1金属线,将所述第1芯片群与所述配线衬底连接;
第2金属线,将所述第2芯片群与所述配线衬底连接;以及
第3金属线,将所述第3半导体芯片与所述配线衬底连接;且
所述多个第1半导体芯片各自具有:第1端部,越靠下段的第1半导体芯片比上段的第1半导体芯片更朝第1方向突出而形成;以及第1电极垫,设置在所述第1端部,且接合着所述第1金属线;
所述多个第2半导体芯片各自具有:第2端部,越靠下段的第2半导体芯片比上段的第2半导体芯片更朝与所述第1方向相反的第2方向突出而形成;以及第2电极垫,设置在所述第2端部,且接合着所述第2金属线;
所述第3半导体芯片具有:第1部分,重叠在所述第1芯片群之上;第2部分,比所述第1芯片群及所述第2芯片群更朝所述第2方向突出,且比所述第1部分厚;
以及第3电极垫,设置在所述第2部分,且接合着所述第3金属线。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中所述第3半导体芯片的所述第2部分的厚度比1个所述第1半导体芯片的厚度、以及1个所述第2半导体芯片的厚度厚。
3.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中所述第3半导体芯片的所述第2部分的厚度比所述第1芯片群的厚度薄,且所述第2部分并未与所述配线衬底相接。
4.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中所述第3半导体芯片的所述第2部分中的与所述第1芯片群相对的侧面和所述第1芯片群的最上层的第1半导体芯片的侧面隔开。
5.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其还具备树脂层,所述树脂层设置在所述多个第1半导体芯片之间、所述多个第2半导体芯片之间、所述第1芯片群的最上层的第1半导体芯片与所述第3半导体芯片之间、以及所述第2芯片群的最下层的第2半导体芯片与所述第3半导体芯片之间。
6.根据权利要求5所述的半导体装置,其中所述第3半导体芯片的所述第2部分中的与所述第1芯片群相对的侧面和所述最上层的第1半导体芯片的侧面隔开,
在所述第3半导体芯片的所述第2部分的所述侧面与所述最上层的所述第1半导体芯片的所述侧面之间,设置着所述树脂层的一部分。
7.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其还具备树脂部,所述树脂部设置在所述配线衬底上,且覆盖所述第1芯片群、所述第2芯片群、所述第3半导体芯片、所述第1金属线、所述第2金属线、以及所述第3金属线。
8.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中所述第3半导体芯片包含设置在所述第1部分的存储元件。
9.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其还具备:
第3芯片群,具有在所述第2芯片群之上呈阶梯状积层的多个第4半导体芯片;
第5半导体芯片,设置在所述第2芯片群与所述第3芯片群之间;
第4金属线,将所述第3芯片群与所述配线衬底连接;以及
第5金属线,将所述第5半导体芯片与所述配线衬底连接;且
所述多个第4半导体芯片各自具有:第4端部,越靠下段的第4半导体芯片比上段的第4半导体芯片更朝所述第1方向突出而形成;以及第4电极垫,设置在所述第4端部,且接合着所述第4金属线;
所述第5半导体芯片具有:第3部分,重叠在所述第2芯片群之上;第4部分,比所述第2芯片群及所述第3芯片群更朝所述第1方向突出,且比所述第3部分厚;
以及第5电极垫,设置在所述第4部分,且接合着所述第5金属线。
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