[发明专利]泵装置、处理液供给装置、基板处理装置、排液方法以及液体置换方法

权利要求书

1.一种泵装置，用于输送液体，其中，

该泵装置包括：

腔室，具有积存部和与所述积存部相接的滚动隔膜，该积存部为容纳液体的内部空间，通过使所述滚动隔膜位移，来使所述积存部的容积变化，所述腔室包括具有所述积存部的腔室主体和具有凹部的引导部，所述凹部容纳有所述滚动隔膜的位于中央的厚壁部，所述腔室主体隔着所述滚动隔膜与所述引导部对接从而形成所述腔室；

驱动部，使所述滚动隔膜位移，

所述腔室形成有与所述积存部连通的至少三个开口、即第一开口、第二开口、第三开口，

所述第二开口位于比所述第一开口高的位置，

所述第三开口在所述三个开口中位于最低的位置，

所述三个开口中的任意两个开口用于：通过与所述滚动隔膜的位移联动地控制液体的流通，向所述积存部内吸引液体和从所述积存部送出液体的通常的送液，

所述腔室的所述积存部形成为具有将铅垂面和直径大于所述铅垂面的圆连结的倾斜面的圆锥台状，

所述第三开口设置于所述积存部的底部且设置于所述倾斜面的下部倾斜面，

所述滚动隔膜的外缘部以被所述圆侧的所述腔室主体的对接面与所述引导部的对接面夹持的方式被固定，

所述凹部的内周面以直径小于所述积存部的所述圆的方式构成，

所述第三开口用于：通过从其他两个开口中的至少任一个开口向所述积存部内导入气体，排出所述积存部内的液体。

2.如权利要求1所述的泵装置，其中，

所述第一开口和所述第三开口设置于相同高度的位置。

3.如权利要求1或2所述的泵装置，其中，

所述第一开口和所述第二开口用于：通过与所述滚动隔膜的位移联动地控制液体的流通，经由所述第一开口向所述积存部内吸引液体，经由所述第二开口送出所述积存部内的液体的通常的送液，

所述第三开口用于：通过经由所述第一开口向所述积存部内导入气体，经由所述第三开口排出所述积存部内的液体。

4.如权利要求1或2所述的泵装置，其中，

所述第一开口和所述第三开口用于：通过与所述滚动隔膜的位移联动地控制流体的流通，经由所述第一开口向所述积存部内吸引液体，经由所述第三开口送出所述积存部内的液体的通常的送液，

所述第三开口用于：通过经由所述第一开口向所述积存部内导入气体，经由所述第三开口排出所述积存部内的液体。

5.如权利要求4所述的泵装置，其中，

所述第二开口用于将聚集在所述积存部内的上部的气泡经由所述第二开口排出。

6.一种处理液供给装置，用于供给处理液，其中，

该处理液供给装置包括：

权利要求1或2所述的泵装置；以及

过滤器，设置于与所述泵装置的所述第一开口连接的流路，对作为液体的处理液进行过滤，

所述三个开口中的包括所述第一开口的任意的两个开口用于：通过与所述滚动隔膜的位移联动地控制液体的流通，向所述积存部内吸引液体和从所述积存部送出液体的通常的送液。