[发明专利]一种氟化碲化锗二维材料的制备方法有效
申请号: | 201810858883.8 | 申请日: | 2018-07-31 |
公开(公告)号: | CN110775947B | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 封伟;张鑫;赵付来;王宇;冯奕钰;李瑀 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | C01B19/00 | 分类号: | C01B19/00 |
代理公司: | 天津创智睿诚知识产权代理有限公司 12251 | 代理人: | 李薇 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氟化 碲化锗 二维 材料 制备 方法 | ||
本发明公开一种氟化碲化锗二维材料的制备方法,将Ge粉和Te粒封装于石英管中,在真空管式炉中程序控温,退火得到前驱体GeTe晶体,依次用甲苯、乙醇冲洗多次除杂,干燥后于管式炉中暴露在Fsubgt;2/subgt;环境中,程序控温退火得到新型二维材料氟化碲化锗GeTe‑F,用四氟胶带反复粘撕,即可得到二维层状半导体材料GeTe‑F。本方法不同于传统的二维材料修饰,其工艺合成简单,氟化后GeTe易于剥离,在光电器件、光催化等方面有较大应用前景。
技术领域
本发明属于新型二维材料制备领域,更加具体地说,具体涉及二维材料GeTe的氟化得到GeTe-F的方法。
背景技术
二维材料具有超高载流子迁移率、具有狄拉克锥的线性色散关系等优势而在光学、电学和催化等领域具有非常广阔的应用前景,受到了广大研究人员的青睐。继石墨烯问世之后,具有类石墨烯结构的二维Ⅳ族金属硫属化合物-GIVMCs(金属主要包括Si、Ge、Sn,硫属主要包括O、S、Se、Te),基于其优异的电学、光学性能,同样受到科研人员的广泛关注。如目前基于SnS2制备的FET器件的载流子迁移率达到230cm2·V-1·s-1,开关比更是达到106。2018年初,Zhang等人首次实验剥离得到层状GeTe材料,单层的GeTe更是具有1.93eV的光学带隙,而随后Qiao等人对GeTe的理论计算,单层具有2.35eV带隙也相对与实验吻合。但单层的GeTe剥离困难,因此对于此类新型二维材料,需要从掺杂、异质结制备、构建器件等方面对其光学、电学性能展开研究。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足,提供一种氟化碲化锗二维材料的制备方法,对GeTe晶体进行了氟化,从掺杂角度入手,探究其性能的改变,相比于先前的氢化GeTe,此过程所需温度更低,时间更短,所得氟化GeTe更易剥离。
本发明的技术目的通过下述技术方案予以实现:
一种氟化碲化锗二维材料的制备方法,按照下述步骤进行:按照等摩尔比将Ge、Te两种金属进行真空封装和处理以得到GeTe晶体,由20—25摄氏度在350—450min内升至1000—1100℃并维持1000—1200min再以0.5—3℃/min降温至20—25摄氏度;将GeTe晶体冲洗除杂干燥后,置于氟气气氛中进行处理得到氟化碲化锗二维材料GeTe-F,由室温20—25摄氏度在200—300min内升至200—400℃并保温20—60小时,再以0.5—3℃/min降温至常温20—25摄氏度,使用四氟胶带反复粘撕,得到二维层状半导体材料GeTe-F。
在上述技术方案中,选择CVD管式炉进行程序温控。
在上述技术方案中,得到GeTe晶体后,将GeTe晶体置于抽滤装置中,使用甲苯和乙醇冲洗以除去杂质,进行干燥。
在上述技术方案中,将Ge、Te两种金属进行真空封装和处理时,真空度达到0.1MPa以下,并保持惰性保护气体氛围,如氮气、氦气或者氩气。
在上述技术方案中,将Ge、Te两种金属进行真空封装和处理时,由20—25摄氏度在380—400min内升至1000—1050℃并维持1100—1200min再以0.5—1℃/min降温至20—25摄氏度。
在上述技术方案中,将GeTe晶体冲洗除杂干燥后,置于氟气气氛中进行处理,自20—25摄氏度在240—280min内升至250—350℃并保温25—50小时,再以0.5—1℃/min降温至常温20—25摄氏度。
在上述技术方案中,将GeTe晶体冲洗除杂干燥后,置于氟气气氛中进行处理时,真空度为50—100bar,优选60—80bar,选择向CVD管式炉中惰性保护气体氛围中通入氟气的方式,并同时维持真空度,以使CVD管式炉中达到氟气氛围,再将GeTe晶体置于CVD管式炉的氟气氛围中。
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