[发明专利]成膜装置、成膜方法及有机EL显示装置的制造方法

权利要求书

1.一种成膜装置，用于经由掩模在基板上进行成膜，其中，

包含：

基板保持单元，所述基板保持单元包含用于支承基板的成膜面的周缘部的支承部；以及

静电吸盘，所述静电吸盘设置在所述支承部的上方，用于吸附所述基板的与成膜面相反一侧的面，

所述支承部包含沿着所述基板的一边设置于第一方向的第一支承部件、和以与所述第一支承部件相对的方式沿着与所述基板的一边相对的边设置于所述第一方向的第二支承部件，

在由所述基板保持单元支承的所述基板被吸附于所述静电吸盘时，由于所述第一支承部件中包含的弹性体的复原力而施加于所述基板的支承力与由于所述第二支承部件中包含的弹性体的复原力而施加于所述基板的支承力不同。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，

所述第一支承部件的支承力比所述第二支承部件的支承力大。

3.根据权利要求2所述的成膜装置，其中，

所述第一支承部件包含配置于所述第一方向的多个支承部件，所述第二支承部件包含以与多个所述第一支承部件相对的方式配置于所述第一方向的多个支承部件。

4.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，

所述第一方向与基板的长边方向平行。

5.根据权利要求2所述的成膜装置，其中，

所述第一支承部件和所述第二支承部件包含弹性体部，所述第一支承部件的弹性体部的弹性模量比所述第二支承部件的弹性体部的弹性模量大。

6.根据权利要求2所述的成膜装置，其中，

所述第一支承部件和所述第二支承部件包含弹性体部，所述第一支承部件的弹性体部的长度比所述第二支承部件的弹性体部的长度长。

7.根据权利要求2所述的成膜装置，其中，

所述支承部还包含设置于与所述第一方向交叉的第二方向的第三支承部件、和以与所述第三支承部件相对的方式设置于所述第二方向的第四支承部件，

所述第三支承部件和所述第四支承部件支承基板的支承力比所述第二支承部件支承基板的支承力大，比所述第一支承部件支承基板的支承力小。

8.根据权利要求7所述的成膜装置，其中，

所述第三支承部件包含配置于所述第二方向的多个支承部件，所述第四支承部件包含以与多个所述第三支承部件相对的方式配置于所述第二方向的多个支承部件。

9.根据权利要求8所述的成膜装置，其中，

多个所述第三支承部件以及多个所述第四支承部件设置为随着向所述第二方向行进而对基板的支承力阶段性地变化。

10.根据权利要求8所述的成膜装置，其中，

多个所述第三支承部件以及多个所述第四支承部件以对基板的支承力相同的方式设置。

11.根据权利要求8所述的成膜装置，其中，

所述第三支承部件和所述第四支承部件的支承力与所述第一支承部件的支承力相同。

12.根据权利要求7所述的成膜装置，其中，

所述第三支承部件和所述第四支承部件包含弹性体部，所述第三支承部件和所述第四支承部件的弹性体部的弹性模量比所述第二支承部件的弹性体部的弹性模量大，比所述第一支承部件的弹性体部的弹性模量小。

13.根据权利要求7所述的成膜装置，其中，

所述第三支承部件和所述第四支承部件包含弹性体部，所述第三支承部件和所述第四支承部件的弹性体部的长度比所述第二支承部件的弹性体部的长度长，比所述第一支承部件的弹性体部的长度短。