[发明专利]成膜装置、成膜方法及有机EL显示装置的制造方法

说明书

本发明的成膜装置包含基板保持单元和静电吸盘，所述基板保持单元包含用于支承基板的周缘部的支承部，所述静电吸盘设置于所述支承部的上方并用于吸附基板，所述支承部包含设置于第一方向的第一支承部件和以与所述第一支承部件相对的方式设置于所述第一方向的第二支承部件，所述第一支承部件支承基板的支承力与所述第二支承部件支承基板的支承力不同。

技术领域

本发明涉及一种成膜装置，特别是涉及一种用于使基板平坦地附着于静电吸盘的基板支承部。

背景技术

最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置受到关注。有机EL显示装置是自发光显示器，响应速度、视角、薄型化等特性优于液晶面板显示器，在监视器、电视、以智能手机为代表的各种便携式终端等中以较快的速度代替现有的液晶面板显示器。另外，其应用领域正在扩展到汽车用显示器等中。

有机EL显示装置的元件具有在两个相对的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物层的基本构造。有机EL显示装置元件的有机物层及电极层通过将蒸镀材料经由形成有像素图案的掩模蒸镀到放置于真空腔室上部的基板(的下表面)而形成，所述蒸镀材料通过对设置于成膜装置的真空腔室的下部的蒸镀源进行加热而蒸发。

在这样的上方向蒸镀方式的成膜装置的真空腔室内，基板由基板保持架保持，基板的下表面的周缘被基板保持架的支承部支承，从而不对形成于基板(的下表面)的有机物层/电极层造成损伤。在该情况下，随着基板的尺寸变大，没有被基板保持架的支承部支承的基板的中央部由于基板的自重而挠曲，成为蒸镀精度下降的重要原因。

作为用于降低由基板的自重引起的挠曲的方法，正在研究使用静电吸盘的技术。即，通过在基板的上部设置静电吸盘，利用静电吸盘吸附由基板保持架的支承部支承的基板的上表面，从而基板的中央部被静电吸盘的静电引力拉拽，能够降低基板的挠曲。

发明内容

[本发明要解决的课题]

但是，在以往的基板保持架中，基板保持架的支承部上载置的基板以如下状态被支承，即，基板的中央部由于自重而挠曲且基板的周缘部与基板的中央部相比高度高的状态，因此，如果使平板形状的静电吸盘朝向基板下降，则由基板保持架的支承部支承的基板的周缘部几乎同时从静电吸盘受到静电引力而被静电吸盘吸附，基板的中央部最慢地受到静电引力。

即，基板向静电吸盘的吸附从基板的周缘部朝向基板的中央部推进，因此即使静电吸盘与基板充分接近，基板也不会平坦地吸附于静电吸盘，在基板的中央部残留有基板与静电吸盘的间隙。另外，由于基板的下表面的周缘部由基板保持架的支承部以最强的支承力支承，静电引力最强地作用，因此，不能够使最晚受到静电吸盘的静电引力的基板的中央部的挠曲朝向基板的周缘部充分伸展，从而残留褶皱。

本发明的目的在于提供一种能够利用静电吸盘以平坦的形状吸附基板的成膜装置、成膜方法以及使用这种成膜方法制造电子器件的方法。

[解决问题的手段]

本发明的第一方式的成膜装置包含基板保持单元和静电吸盘，所述基板保持单元包含用于支承基板的周缘部的支承部，所述静电吸盘设置于所述支承部的上方并用于吸附基板，所述支承部包含设置于第一方向的第一支承部件和以与所述第一支承部件相对的方式设置于所述第一方向的第二支承部件，所述第一支承部件支承基板的支承力与所述第二支承部件支承基板的支承力不同。

本发明的第二方式的成膜方法包含：向本发明的第一方式的成膜装置内搬入基板而将基板放置于基板保持单元的支承部的工序、利用静电吸盘来吸附放置于所述基板保持单元的所述支承部上的基板的上表面的工序、以及经由掩模在基板上堆积蒸镀材料的成膜工序。

本发明的第三方式的有机EL显示装置的制造方法使用本发明的第二方式的成膜方法制造有机EL显示装置。

[发明的效果]