[发明专利]一种检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种检测装置，其特征在于，包括：

承载平台，用于承载待测样品；

光源装置，所示光源装置用于出射探测光线；

第一探测装置，所述第一探测装置用于接收所述探测光线，并形成第一测量光和第一参考光，所述第一测量光经待测样品反射后与第一参考光发生干涉；

第二探测装置，所述第二探测装置用于将所述探测光线汇聚至所述待测样品表面，形成第二测量光；

物镜切换装置，用于对所述第一探测装置或所述第二探测装置进行切换，使所述第一探测装置或所述第二探测装置处于光路中；

测量设备，用于根据经所述待测样品反射回的第一测量光和第一参考光获取所述待测样品的高度信息，并根据所述第二测量光获取待测样品的结构信息。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述测量设备包括第一测量装置，用于获取所述高度信息；

所述第一测量装置还用于根据经待测样品反射回的第二测量光获取所述待测样品的成像信息。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述第一测量装置包括图像传感器。

4.根据权利要求2或3所述的检测装置，其特征在于，所述测量设备还包括：第二测量装置；

所述第二测量装置用于根据经待测样品反射回的第二测量光获取所述待测样品的膜厚信息。

5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述第二测量装置包括光谱仪。

6.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，还包括：光阑；

所述光阑用于限制进入所述第二测量装置的光线。

7.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，还包括：第一分光装置，用于对信号光进行分光，使部分信号光投射向所述第一测量装置，并使部分信号光投射向第二测量装置。

8.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括：第三汇聚透镜，用于使所述使待测样品反射回的第一测量光、第一参考光和第二测量光汇聚至所述测量装置。

9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括：第二分光装置，用于将探测光线反射向待测样品，并使待测样品反射回的第一测量光、第一参考光和第二测量光透过。

10.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一探测装置包括：第一汇聚透镜、支撑面、补偿面和第一分束板；其中，

所述第一汇聚透镜与所述支撑面相对设置，所述第一汇聚透镜用于汇聚所述探测光线，形成汇聚光线向所述支撑面出射；

所述支撑面与所述补偿面相对设置，所述补偿面位于所述支撑面远离所述第一汇聚透镜一侧，所述支撑面朝向所述补偿面一侧具有参考面；

所述第一分束板设置于所述补偿面远离所述支撑面一侧；

所述汇聚光线依次透过所述支撑面和补偿面后到达所述第一分束板表面，被所述第一分束板反射的光线成为第一参考光，被所述第一分束板透射的光线成为第一测量光；所述第一参考光透过所述补偿面后依次被所述参考面和第一分束板反射，与被所述待测样品反射的第一测量光形成干涉；

所述补偿面用于对所述第一参考光和第一测量光进行相位补偿，以使所述第一参考光和第一测量光满足干涉条件。

11.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述物镜切换装置或所述承载平台还用于沿垂直于所述待测样品表面的方向运动；

所述承载平台还用于沿平行于所述待测样品表面的方向移动。

12.根据权利要求11所述的检测装置，其特征在于，还包括：压电传感器；

所述压电传感器设置于所述物镜切换装置朝向所述承载平台一侧，所述压电传感器用于带动所述物镜切换装置沿垂直于所述待测样品表面的方向运动。