[发明专利]用于能变化地影响射线束的波前的设备

权利要求书

1.一种用于能变化地影响射线束的波前的设备，所述用于能变化地影响射线束的波前的设备具有反射式或透射式的平面光学器件(1)以及调节和保持装置(2)，所述平面光学器件具有前侧(1.1)、背侧(1.2)和围绕对称轴线(A)的柱体形的周面(1.3)，其特征在于，

所述调节和保持装置(2)同轴于所述平面光学器件(1)地布置并且包括载体(2.1)、具有共同的对称轴线(B)的托座单元(2.2)和至少三个弹性的保持压板(2.3)，

其中，所述载体(2.1)具有柱体形的第一载体周面(2.1.1)和柱体形的第二载体周面(2.1.2)，所述柱体形的第一载体周面和所述柱体形的第二载体周面彼此间具有垂直的、限界出凹部(2.1.0)的间距(a)并且具有与所述平面光学器件(1)的周面(1.3)相同的直径，

所述托座单元(2.2)围绕所述载体(2.1)并且与所述载体固定连接地布置，

所述至少三个弹性的保持压板(2.3)分别具有平行于共同的对称轴线(B)延伸的纵向轴线(2.3.0)，并且分别以第一端部(2.3.1)固定地安置在所述周面(1.3)上，并且以第二端部(2.3.2)固定地安置在所述柱体形的第二载体周面(2.1.2)上并贴靠在所述第一载体周面(2.1.1)上，并且

给所述至少三个弹性的保持压板(2.3)中的至少一个保持压板配属了布置在所述托座单元(2.2)中的调节元件(2.4)，借助所述调节元件能够使所配属的保持压板(2.3)在与间距(a)相等的长度上垂直于其纵向轴线(2.3.0)地弯曲。

2.根据权利要求1所述的用于能变化地影响射线束的波前的设备，其特征在于，所述平面光学器件(1)是反光镜并且在所述载体(2.1)上存在有凸起的撑托面(2.1.3)，在所述撑托面上，所述平面光学器件(1)居中地以其背侧(1.2)支撑在所述载体(2.1)上，从而使所述载体形成针对经由所述保持压板(2.3)所导入的力的支座。

3.根据权利要求1所述的用于能变化地影响射线束的波前的设备，其特征在于，所述平面光学器件(1)是透明的平面板，并且所述载体(2.1)具有贯通部(2.1.4)，所述贯通部不限制引导穿过所述平面板的射线束，并且至少一个保持压板(2.3)用作针对经由其他的保持压板(2.3)所导入的力的支座。

4.根据权利要求1所述的用于能变化地影响射线束的波前的设备，其特征在于，所述至少三个弹性的保持压板(2.3)中的至少一个保持压板是预紧的。

5.根据权利要求1所述的用于能变化地影响射线束的波前的设备，其特征在于，所述至少三个弹性的保持压板(2.3)相对于共同的对称轴线(B)轴线对称地布置。

6.根据权利要求1所述的用于能变化地影响射线束的波前的设备，其特征在于，所述保持压板(2.3)分别通过切割和/或冲裁被分成片簧框(2.3.3)和所围入的片簧舌(2.3.4)，其中，

所述保持压板(2.3)的第一端部(2.3.1)和第二端部(2.3.2)构造在所述片簧框(2.3.3)上，并且所述片簧框贴靠在所述第一载体周面(2.1.1)上，

所述片簧舌(2.3.4)经由固定的舌端部(2.3.4.1)与片簧框(2.3.3)一体式连接，所述固定的舌端部面向所述第一端部(2.3.1)并且与所述第一端部有间距地布置，并且

所配属的调节元件(2.4)作用到自由的舌端部(2.3.4.2)上。

7.根据权利要求1所述的用于能变化地影响射线束的波前的设备，其特征在于，所述平面光学器件(1)具有单侧成阶梯或双侧成阶梯的边缘区域(1.4)。