[发明专利]废气处理装置以及废气处理方法

权利要求书

1.一种废气处理装置，其对含有氢的处理气体进行燃烧处理而实现无害化，该废气处理装置的特征在于，

对含有氢的处理气体进行燃烧的燃烧室构成为圆筒状的燃烧室，

所述燃烧室具备将处理气体和助燃性气体分别朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入的处理气体用喷嘴和助燃性气体用喷嘴，

所述处理气体用喷嘴和助燃性气体用喷嘴位于与所述燃烧室的轴线正交的同一平面上，

在所述助燃性气体用喷嘴上连接冷却水供给配管，从所述助燃性气体用喷嘴将助燃性气体与冷却水一并朝向所述燃烧室的内周面的切线方向吹入。

2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，通过从所述冷却水供给配管使冷却水与在所述助燃性气体用喷嘴内流动的助燃性气体合流而使冷却水微粒化，将包含被微粒化后的冷却水在内的助燃性气体吹入所述燃烧室。

3.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，在所述燃烧室的上部壁形成有供给冷却水来冷却所述上部壁的冷却套。

4.根据权利要求3所述的废气处理装置，其特征在于，将从所述冷却套排出的冷却水向所述冷却水供给配管供给。

5.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，在向所述助燃性气体用喷嘴供给助燃性气体的助燃性气体供给线路上设有止回阀，构成为使所述燃烧室内的处理气体不向助燃性气体供给线路逆流。

6.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，在所述冷却水供给配管上设有止回阀，构成为使所述燃烧室内的处理气体不向所述冷却水供给配管逆流。

7.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，含有氢的所述处理气体是从EUV曝光装置排出的废气。

8.一种废气处理方法，其对含有氢的处理气体进行燃烧处理而实现无害化，该废气处理方法的特征在于，

对含有氢的处理气体进行燃烧的燃烧室构成为圆筒状的燃烧室，

从位于与所述燃烧室的轴线正交的同一平面上的处理气体用喷嘴和助燃性气体用喷嘴将处理气体和助燃性气体分别朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入，形成处理气体与助燃性气体的两种混合的回旋流，

向所述助燃性气体用喷嘴供给冷却水，从所述助燃性气体用喷嘴将助燃性气体与冷却水一并朝向所述燃烧室的内周面的切线方向吹入。

9.根据权利要求8所述的废气处理方法，其特征在于，通过使冷却水与在所述助燃性气体用喷嘴内流动的助燃性气体合流而使冷却水微粒化，将包含被微粒化后的冷却水在内的助燃性气体吹入所述燃烧室。

10.根据权利要求8所述的废气处理方法，其特征在于，向所述燃烧室的上部壁供给冷却水来冷却所述上部壁。

11.根据权利要求10所述的废气处理方法，其特征在于，将对所述燃烧室的上部壁进行了冷却之后的冷却水向所述助燃性气体用喷嘴供给。

12.根据权利要求8所述的废气处理方法，其特征在于，含有氢的所述处理气体是从EUV曝光装置排出的废气。

13.根据权利要求8所述的废气处理方法，其特征在于，在所述燃烧室中，在从处理气体及助燃性气体的吹入位置沿所述燃烧室的轴线方向在稍下方分离的位置，从供水喷嘴供给水而在所述燃烧室的内周面上形成水膜。

14.根据权利要求13所述的废气处理方法，其特征在于，通过从所述供水喷嘴将水朝向蓄水部的内周面的切线方向喷出，在所述蓄水部中形成由回旋流构成的水膜，所述回旋流具有从半径方向外侧朝向内侧且向斜下方倾斜的水面。