[发明专利]一种FPC盲孔检测方法

权利要求书

1.一种FPC盲孔检测方法，其特征在于：包括

钻孔，于FPC上钻取盲孔；

等离子清洗，利用等离子清洗所钻取的上述盲孔，去除杂质；

化学清洗，再利用化学方式清洗经过等离子清洗后的上述盲孔，进一步去除杂质；

黑影，再对清洗后的所述盲孔进行黑影处理；

AOI扫描，对整个FPC进行全自动光学检测扫描，检测整个FPC的盲孔品质。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述AOI扫描步骤中，通过将扫描信息与预设的盲孔信息进行比对分析，得到整个FPC上所有盲孔的品质情况。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述等离子清洗步骤中，包括第一次清洗，该阶段所用等离子由N₂、CF₄和O₂气体中的任意一种离解电离得到,清洗时间为8±2min。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于：所述等离子清洗步骤中，还包括第二次清洗，该阶段所用等离子由O₂气体离解电离得到，清洗时间为3±2min。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述化学清洗步骤中，包括喷淋除油剂对FPC进行除油，除油剂中包括浓度为2％-6％的H₂SO₄，喷淋压力为0.8kg/cm²-1.0kg/cm²，温度为40℃±2℃。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于：所述化学清洗步骤中，除油后，还包喷淋微蚀剂对FPC进行微蚀，微蚀剂中包括浓度为11g/L-15g/L的H₂O₂、浓度为10g/L-50g/L的H₂SO₄和浓度≤48g/L的Cu²⁺，喷淋压力为0.8kg/cm²-1.0kg/cm²，温度为30℃±2℃，且微蚀量为0.5μm-0.7μm。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于：所述化学清洗步骤中，微蚀后，还包括利用酸洗剂对FPC进行酸洗，酸洗剂中包括浓度为0.8％-2.4％的H₂SO₄，温度为常温。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述黑影步骤中，包括使用黑影剂，黑影剂中固形物含量为3.5％-4.5％，粘度≤8CP，PH为8.5-9.2，导电度为300μs/cm-1500μs/cm，温度为21-25℃。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于：所述黑影步骤中，还包括向FPC喷淋定影剂进行定影，且定影剂的当量浓度为0.1N-0.18N，喷淋压力为0.8kg/cm²-1.0kg/cm²，温度为43-47℃。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于：所述黑影步骤中，定影后，还包括喷淋后段微蚀剂进行后段微蚀，后段微蚀剂中包括浓度为3％-7％的H₂O₂、浓度为10g/L-50g/L的H₂SO₄，喷淋压力为1.0kg/cm²-1.2kg/cm²，温度为30-34℃，且微蚀量ED铜为1.1±0.1μm和RA/JA铜为1.5±0.1μm。