[发明专利]一种碳化硅晶体的制备方法

权利要求书

1.一种碳化硅晶体的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

提供由非晶态二氧化硅包裹碳源前驱体与水组成的混合体系；所述混合体系中非晶态二氧化硅包裹碳源前驱体与水的质量比为100:8～11；

将所述混合体系压制成型制成坯体；

将所述坯体埋入石英砂中进行微波烧结合成，即得；

所述碳源的平均粒径为0.06～0.20mm；

所述微波烧结合成采用的微波的频率为2.425～2.475GHz；

所述微波烧结合成是在微波场中将反应体系升温至烧结温度，然后保温、冷却；所述烧结温度为600～1100℃；所述保温时间为0min；将反应体系升温至600℃的时间为28～35min；烧结温度大于600℃时，将反应体系从600℃升温至烧结温度的升温速率为10～180℃/min；

所述非晶态二氧化硅包裹碳源前驱体中二氧化硅与碳源中碳的摩尔比为(0.9～1.1):(2.9～3.1)。

2.根据权利要求1所述的碳化硅晶体的制备方法，其特征在于：所述压制成型采用的压力为4～5MPa；所述压制成型的保压时间为50～60s。

3.根据权利要求1所述的碳化硅晶体的制备方法，其特征在于：所述碳源为煤炭。

4.根据权利要求1所述的碳化硅晶体的制备方法，其特征在于：所述非晶态二氧化硅包裹碳源前驱体的制备方法，包括以下步骤：

1)将正硅酸乙酯、乙醇与水混合，加入柠檬酸，调节pH为3～4，搅拌2～2.5h，得混合物A；正硅酸乙酯、乙醇和水的体积比为23:35:80；

2)向混合物A中分别加入碳源，搅拌2.5～3h后，得混合物B；

3)向混合物B中加入氨水，调节pH值为8～9，再搅拌1～2h，然后干燥、研磨，即得。