[发明专利]用于制造具有两个基板的检测装置的方法及该检测装置

说明书

本发明涉及一种制造用于检测电磁辐射的装置(1)的方法。该方法包括以下步骤：提供第一基板(400)，所述第一基板(400)包括读出电路(340)、至少两个第一接触插塞(343，344)和围绕第一接触插塞(343，344)的至少一个第一环形接合元件(345)；提供第二基板，所述第二基板包括帽盖(210)、环形侧壁和检测结构(100)，环形侧壁与帽盖(210)形成腔室，腔室中填充有牺牲材料，检测结构(100)容置在所述腔室中。该方法进一步包括如下步骤：将第二基板(200)接合在第一基板(400)上；在第二基板(200)中布置至少一个开口(212)；选择性地去除牺牲材料；在至少初级真空下封闭所述开口(212)。

技术领域

本发明涉及对电磁辐射进行检测的领域，例如对波长在红外范围内的电磁辐射进行检测的领域，并且更具体地涉及使得能够进行这种检测的检测装置。

因此，本发明的主题更确切而言是一种制造用于检测电磁辐射的装置的方法和用于检测电磁辐射的装置。

背景技术

为了提高某些检测装置的检测结构的灵敏度，特别是为了提高那些用于检测波长在红外范围内的电磁辐射的检测装置的检测结构的灵敏度，已知的是，将这些装置的检测结构在至少初级真空(primary vacuum)下容置在腔室中。在这样的构造中，该结构于是通过连接臂与装置的其余部分热绝缘，连接臂被用作所述结构的支撑件并且使得能够实现所述结构的电连接。

在这种情况下，制造这种检测装置的方法相对于使得能够制造简单地封装在电介质中的结构的方法而言更加复杂，特别是对于基于晶体管或二极管的微测辐射热计而言。

实际上，形成这种装置(基于晶体管或二极管的微测辐射热计)通常需要使用组装在一起的三个不同的基板：一个基板包括读出电路；第二个基板包括检测结构，第三个基板包括帽盖。文献US20130026592描述了这种制造方法。

因此，根据文献US 20130026592的制造方法包括以下步骤：

-提供集成读出电路的第一基板，第一基板进一步包括连接到读出电路的至少两个第一接触插塞；

-提供第二基板，第二基板包括：

o支撑件；

o用于检测电磁辐射的至少一个检测结构，所述至少一个检测结构设置有至少两个连接臂，每个连接臂通过与相应的第一接触插塞互补的第二接触插塞延伸，该检测结构设置在支撑件上；

o牺牲材料，所述牺牲材料沉积在支撑件上并以使得第二接触插塞各自至少部分地暴露的方式包围检测结构；

-将第二基板接合在第一基板上，其中，每个第二接触插塞接合在相应的第一接触插塞上；

-去除支撑件；

-在围绕所述结构的牺牲材料中打开沟槽；

-在沟槽中形成围绕检测结构的侧壁；

-去除牺牲材料以释放检测结构；

-提供用于形成帽盖的第三基板；

-将第三基板组装在侧壁上，以便与侧壁形成包围检测结构的腔室，该组装在至少初级真空下进行。

对于这种方法，因而可以形成如下检测装置，该检测装置包括相对于装置的其余部分具有良好热绝缘性的结构，原因是除了由该结构的连接臂提供的热连接之外，该结构通过在由第一基板、侧壁和第三基板形成的腔室中产生的真空而热绝缘。

因此，虽然这种方法使得可以提供具有提高的灵敏度的检测装置，但是它存在相对复杂的缺点，原因是需要组装三个基板，第一个基板集成读出电路，第二个基板用于提供所述结构，以及第三个基板用于形成帽盖。

发明内容