[发明专利]光罩运输方法及设备

权利要求书

1.一种光罩运输方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：提供一光罩运输设备，所述光罩运输设备包括机械手臂和光罩传输载具，所述机械手臂与所述光罩传输载具连接，所述光罩传输载具用以运输光罩，所述光罩运输设备还包括微尘净化喷嘴、进气管道及与所述进气管道连接的净化气体源，所述微尘净化喷嘴设置于所述光罩传输载具上，S1步骤包括：将具有光罩图案的所述光罩置于光罩室内的光罩装载点；

S2：在所述光罩装载点将所述光罩载入所述光罩运输设备中，并对所述光罩上的微尘量进行检测；

S3：所述光罩运输设备将所述光罩运输至曝光转台，并将所述光罩载入所述曝光转台进行曝光显影，在运输所述光罩的同时开启所述光罩运输设备上设置的所述微尘净化喷嘴以净化清洁所述光罩上的微尘，所述微尘净化喷嘴的喷吹方向对准所述光罩的上表面。

2.根据权利要求1所述的光罩运输方法，其特征在于，在所述光罩运输设备上设置有内部光罩检测系统，在所述步骤S2中，开启所述内部光罩检测系统，以检测所述光罩上的微尘量。

3.根据权利要求1所述的光罩运输方法，其特征在于，所述步骤S3还包括：所述光罩运输设备将所述光罩载入内部光罩库中存储并按照固定检测频率对所述光罩上的微尘量进行检测。

4.根据权利要求3所述的光罩运输方法，其特征在于，所述步骤S3中的检测频率介于5小时/次～6小时/次。

5.根据权利要求1所述的光罩运输方法，其特征在于，所述进气管道由一净化气体柱塞阀控制。

6.根据权利要求1所述的光罩运输方法，其特征在于，所述净化气体源还与光罩室净化气体管道连通并通过所述光罩室净化气体管道向光罩室净化喷口提供净化气体。

7.根据权利要求1所述的光罩运输方法，其特征在于，所述微尘净化喷嘴上设置有电磁阀以控制所述微尘净化喷嘴，在所述光罩运输设备中载入所述光罩时，开启所述电磁阀，在所述光罩运输设备中卸载所述光罩时，关闭所述电磁阀。

8.根据权利要求7所述的光罩运输方法，其特征在于，所述微尘净化喷嘴喷出的气体包括洁净干燥压缩空气。

9.一种光罩运输设备，包括：

机械手臂；

光罩传输载具，以固定光罩，所述光罩传输载具与所述机械手臂连接；

其特征在于，所述光罩运输设备还包括微尘净化喷嘴、进气管道及与所述进气管道连接的净化气体源，所述微尘净化喷嘴设置于所述光罩传输载具上。

10.根据权利要求9所述的光罩运输设备，其特征在于，所述进气管道由一净化气体柱塞阀控制。

11.根据权利要求9所述的光罩运输设备，其特征在于，所述净化气体源还与光罩室净化气体管道连通并通过所述光罩室净化气体管道向光罩室净化喷口提供净化气体。

12.根据权利要求9所述的光罩运输设备，其特征在于，在所述光罩运输设备上还设置有内部光罩检测系统，以检测所述光罩上的微尘量。

13.根据权利要求12所述的光罩运输设备，其特征在于，当所述光罩载入所述光罩传输载具时，对所述光罩上的微尘量进行检测。

14.根据权利要求9所述的光罩运输设备，其特征在于，所述光罩传输载具将所述光罩载入内部光罩库存储或者将所述光罩载入曝光转台进行曝光。

15.根据权利要求14所述的光罩运输设备，其特征在于，当所述光罩存储于所述内部光罩库中时，以介于5小时/次～6小时/次的检测频率对所述光罩上的微尘量进行检测。