[发明专利]光图像计测装置

权利要求书

1.一种光图像计测装置，其取得测量对象的图像，

上述光图像计测装置的特征在于，具备：

射出光的光源；

将上述光源射出的光分支成信号光和参照光的光分支部；

配置于上述光源与上述光分支部之间，扫描上述光源所射出的光的光轴的角度的光扫描部；

通过将从上述测量对象反射的上述信号光和上述参照光合并而生成干涉光的干涉光学系；以及

检测上述干涉光的光检测器。

2.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于，

上述光图像计测装置还具备接受上述光源所射出的光并向上述光分支部射出的光纤，

上述光扫描部通过使上述光纤向上述光分支部射出光的射出端的位置位移而扫描上述光轴的角度。

3.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于，

上述光检测器的受光面的平面尺寸比通过上述光扫描部扫描上述光轴的角度而使上述干涉光在上述受光面上位移的范围大，

上述光检测器配置于使上述受光面完全包含上述干涉光在上述受光面上位移的范围的位置。

4.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于，

上述光图像计测装置还具备：

通过反射上述光分支部射出的上述参照光而向上述光分支部返回上述参照光的参照光镜片；以及

向上述参照光镜片汇聚上述参照光的透镜。

5.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于，

上述光图像计测装置还具备：

配置于上述光分支部与上述测量对象之间且将上述信号光汇聚至上述测量对象的物镜；以及

使上述物镜的聚光位置沿上述信号光的光轴方向位移的驱动部。

6.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于，

上述光图像计测装置还具备：

配置于上述光分支部与上述测量对象之间且将上述信号光汇聚至上述测量对象的物镜；以及

载置上述测量对象的载物台，

上述载物台构成为，能够使上述测量对置的位置沿上述信号光的光轴方向位移。

7.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于，

上述光图像计测装置还具备求出分布于上述测量对象中的粒子的尺寸分布的信号处理部，

上述信号处理部基于从上述测量对象反射的反射光的强度推测上述粒子的尺寸。

8.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于，

上述光源具有射出第一波长的光的第一波长光源和射出与上述第一波长不同的第二波长的光的第二波长光源，

上述第一波长光源和上述第二波长光源交替射出光。

9.根据权利要求8所述的光图像计测装置，其特征在于，

上述光图像计测装置还具备使用上述光检测器检测到的上述干涉光来生成上述测量对象的图像数据的运算部，

上述光源在通过上述光扫描部使上述信号光的在上述测量对象上的扫描位置移动相当于上述图像数据的1像素的距离的时间以内至少实施一次上述第一波长光源射出光的动作和上述第二波长光源射出光的动作。

10.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于，

上述光扫描部使用通过反射上述光源所射出的光来变更上述光轴的角度的镜子而构成。

11.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于，

上述干涉光学系生成相位关系互不相同的三个以上的上述干涉光。

12.根据权利要求1所述的光图像计测装置，其特征在于，

上述光扫描部构成为向配置有上述光分支部的空间射出上述光，

上述光图像计测装置在上述光扫描部与上述光分支部之间不具备传播上述光的传输的光学部件，

上述光源所射出的光经由上述空间而传输。