[发明专利]光图像计测装置在审
申请号: | 201810885167.9 | 申请日: | 2018-08-06 |
公开(公告)号: | CN109459414A | 公开(公告)日: | 2019-03-12 |
发明(设计)人: | 大泽贤太郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立制作所 |
主分类号: | G01N21/45 | 分类号: | G01N21/45;G01N15/02 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 金成哲;宋春华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光图像计测装置 光源 分支部 射出 光扫描部 宽带光源 光分支 信号光 光轴 扫描 测量 配置 | ||
本发明提供一种不使用宽带光源、能够以小型且低价的结构高速实施测量的光图像计测装置。本发明的光图像计测装置具备将光源所射出的光分支成信号光和参照光的光分支部,在光源与上述光分支部之间配置对上述光源所射出的光的光轴的角度进行扫描的光扫描部。
技术领域
本发明涉及使用光观察测量对象的光图像计测装置。
背景技术
光学相干层析成像(OCT:Optical Coherence Tomography)是使用光的干涉取得测量对象的断层图像的技术,自1996年起被应用于眼底检查领域,近年来,讨论应用于心脏病学、齿科学、肿瘤学、食品工业、再生医疗等各种领域。
下记专利文献1记载了涉及OCT的技术。如该文献记载地,在OCT中,将来自光源的光分支成照射测量对象的信号光和不照射测量对象而被参照光镜片反射的参照光,使从测量对象反射回的信号光与参照光汇合而干涉,从而得到测量信号。
OCT根据测量位置沿光轴方向的扫描方法(以下,称为z扫描)大致可分为时域OCT和傅里叶域OCT。时域OCT中,作为光源,使用低相干性光源,测量时对参照光镜片进行扫描,从而实施z扫描。由此,仅信号光含有的与光路长度与参照光一致的成分干涉,对得到的干涉信号进行包络检波,从而解调期望的信号。傅里叶域OCT还分为波长扫描型OCT和光谱域OCT。波长扫描型OCT中,使用可扫描射出光的波长的波长扫描光源,测量时对波长进行扫描,进行z扫描,对检测到的干涉光强度的波长相关性(干涉光谱)进行傅里叶变换,从而得到期望的信号。光谱域OCT中,作为光源使用宽带光源,利用分光器对生成的干涉光进行分光,与z扫描对应地,检测每个波长成分的干涉光强度(干涉光谱)。将得到的干涉光谱进行傅里叶变换,从而得到期望的信号。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:美国US2014/0204388
发明内容
发明所要解决的课题
上述的现有的OCT装置中,深度分辨率由光的波长带宽或波长扫描宽度决定。因此,使用超辐射发光二极管(SLD:Super luminescent diode)、波长扫描光源等波长带较宽的光源。相比产生窄带光的通常的激光光源,这些光源价格高。另外,因为使用的光的波长带较宽,因此需要与宽带光对应的光学元件,需要进行波长分散补偿。由此,现有的OCT装置难以低价化。
因此,本发明者们发明了专利文献1记载的光计测装置。本光计测装置使用高NA(Numerical Aperture)的物镜,将激光光束(信号光)汇聚并照射至测量对象,通过对物镜进行扫描,从而扫描聚光位置,取得测量对象的断层图像。本光计测装置中,信号光含有的来自物镜的焦点以外的反射光成分的波面的曲率与参照光不一致,因此显然使用不干涉的原理,能够进行三维计测,与SLD或者使用波长扫描光源的现有的OCT装置根本上原理不同。本结构中,无需使用高价的光源,因此能够提供低价的光图像计测装置。另一方面,聚光位置对扫描耗费时间,因此存在测量时间较长的倾向。
为了高速地实施测量,考虑通过扫描信号光的光轴的角度来扫描测量位置。为了扫描信号光的光轴的角度,例如,只要在信号光的光路配置电流计镜等光学部件即可。但是,由于将这样的光学部件插入信号光的光路,信号光的光路长度变长,参照光的光路长度也需要相应地变成。由此,光计测装置会大型化。
本发明鉴于上述课题而做成,其目的在于提供一种不使用宽带光源而且能够以小型且低价的结构高速地实施测量的光图像计测装置。
用于解决课题的方案
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