[发明专利]样品中氚的BIXS方法分析装置在审

专利信息
申请号: 201810889274.9 申请日: 2018-08-07
公开(公告)号: CN109164115A 公开(公告)日: 2019-01-08
发明(设计)人: 朱敬军;安竹;刘慢天;陈浩;张乐 申请(专利权)人: 四川大学
主分类号: G01N23/02 分类号: G01N23/02
代理公司: 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 代理人: 王敏
地址: 610044 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 真空筒 操作台 探测器安装座 导轨 电阻真空计 方法分析 充氩气 气压计 样品台 薄膜 滑动设置 科研单位 样品分析 灵敏度 体积小 无损 射线 分析 检测 延伸 伤害 移动
【权利要求书】:

1.一种样品中氚的BIXS方法分析装置,其特征在于,其包括操作台、真空筒、导轨、探测器安装座、X射线探测器、样品台、电阻真空计、薄膜气压计;所述真空筒位于操作台上方,所述导轨设置在操作台上方并且位于真空筒内,所述探测器安装座滑动设置在导轨上,所述X射线探测器设置在探测器安装座上,所述样品台设置在操作台上方并且位于真空筒内以及X射线探测器下侧,所述电阻真空计、薄膜气压计分别设置在真空筒的两侧并且延伸至真空筒内。

2.根据权利要求1所述的样品中氚的BIXS方法分析装置,其特征在于,所述真空筒包括真空室筒、真空盖板、真空室门,所述真空盖板盖设在真空室筒的顶部,所述真空室筒的一侧设置真空室门。

3.根据权利要求1或2所述的样品中氚的BIXS方法分析装置,其特征在于,还包括高度调节杆,所述高度调节杆的一端设置在操作台上,另一端与样品台连接。

4.根据权利要求3所述的样品中氚的BIXS方法分析装置,其特征在于,还包括两个放气阀,所述两个放气阀分别将真空筒与大气、氩气通过管路连通。

5.根据权利要求4所述的样品中氚的BIXS方法分析装置,其特征在于,还包括机械泵、高真空手动挡板阀,所述机械泵经高真空手动挡板阀与真空筒内连通。

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