[发明专利]样品中氚的BIXS方法分析装置在审
申请号: | 201810889274.9 | 申请日: | 2018-08-07 |
公开(公告)号: | CN109164115A | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 朱敬军;安竹;刘慢天;陈浩;张乐 | 申请(专利权)人: | 四川大学 |
主分类号: | G01N23/02 | 分类号: | G01N23/02 |
代理公司: | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人: | 王敏 |
地址: | 610044 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空筒 操作台 探测器安装座 导轨 电阻真空计 方法分析 充氩气 气压计 样品台 薄膜 滑动设置 科研单位 样品分析 灵敏度 体积小 无损 射线 分析 检测 延伸 伤害 移动 | ||
1.一种样品中氚的BIXS方法分析装置,其特征在于,其包括操作台、真空筒、导轨、探测器安装座、X射线探测器、样品台、电阻真空计、薄膜气压计;所述真空筒位于操作台上方,所述导轨设置在操作台上方并且位于真空筒内,所述探测器安装座滑动设置在导轨上,所述X射线探测器设置在探测器安装座上,所述样品台设置在操作台上方并且位于真空筒内以及X射线探测器下侧,所述电阻真空计、薄膜气压计分别设置在真空筒的两侧并且延伸至真空筒内。
2.根据权利要求1所述的样品中氚的BIXS方法分析装置,其特征在于,所述真空筒包括真空室筒、真空盖板、真空室门,所述真空盖板盖设在真空室筒的顶部,所述真空室筒的一侧设置真空室门。
3.根据权利要求1或2所述的样品中氚的BIXS方法分析装置,其特征在于,还包括高度调节杆,所述高度调节杆的一端设置在操作台上,另一端与样品台连接。
4.根据权利要求3所述的样品中氚的BIXS方法分析装置,其特征在于,还包括两个放气阀,所述两个放气阀分别将真空筒与大气、氩气通过管路连通。
5.根据权利要求4所述的样品中氚的BIXS方法分析装置,其特征在于,还包括机械泵、高真空手动挡板阀,所述机械泵经高真空手动挡板阀与真空筒内连通。
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