[发明专利]枚叶水平输送式之晶圆去膜清洗装置及其清洗方法

权利要求书

1.枚叶水平输送式之晶圆去膜清洗装置，包括：底座支架(1)、原料箱(2)、传动机构(3)、第一清洗槽(4)、第二清洗槽(5)、第三清洗槽(7)、第四清洗槽(8)以及底座(6)，其特征在于，所述第一清洗槽(4)、第二清洗槽(5)、第三清洗槽(7)、第四清洗槽(8)设于底座上，所述第一清洗槽(4)位于第二清洗槽(5)后端，所述第二清洗槽(5)位于第三清洗槽(7)后端，所述第三清洗槽(7)位于第四清洗槽(8)后端，所述传动机构(3)通过支架固定于底座(6)上端，所述底座(6)下端设有底座支架(1)，所述原料箱(2)设于底座(6)上端面一侧；

所述原料箱(2)包括：原料箱外壳(21)、第一清洗液箱开口盖(22)、原料箱开口盖(23)、第二清洗液箱开口盖(24)、水箱开口盖(25)、第一清洗液箱(28)、第二清洗液箱(27)以及水箱(26)，所述第一清洗液箱(28)、第二清洗液箱(27)以及水箱(26)皆安装于原料箱外壳(21)内部，所述第一清洗液箱开口盖(22)安装于第一清洗液箱(28)上端，所述第二清洗液箱开口盖(24)安装于第二清洗液箱(27)上端，所述水箱开口盖(25)安装于水箱(26)上端，所述原料箱开口盖(23)安装于原料箱外壳(21)上端；

所述第一清洗液箱(28)装有较旧光阻剥离剂，所述第二清洗液箱(27)装有较新鲜光阻剥离剂；

所述传动机构(3)包括：第一皮带轮(31)、电机输出轴承(32)、电机固定架(33)、第一皮带(34)、第一驱动轴承(35)、第一驱动轮(36)、第二皮带轮(37)、传动链条(38)、第二驱动轴承(39)、第二驱动轮(310)、第三皮带轮(311)、第二皮带(312)、从动轴承(313)、第四皮带轮(314)、第三皮带(315)、电机(316)、机爪(317)、支撑轮(318)以及约束轮(319)，所述第一驱动轮(36)、第二驱动轮(310)、支撑轮(318)以及约束轮(319)通过支撑架固定于底座(6)上，所述第一驱动轮(36)、第二驱动轮(310)、支撑轮(318)以及约束轮(319)通过传动链条(38)连接，所述机爪(317)均匀安装于传动链条(38)上，所述电机(316)通过电机固定架(33)固定于底座(6)内部，所述第一驱动轴承(35)上安装有第一驱动轮(36)以及第二皮带轮(37)，所述第二驱动轴承(39)上安装有第二驱动轮(310)以及第三皮带轮(311)，所述第一皮带轮(31)安装于电机输出轴承(32)上，所述第二皮带轮(37)安装于第一驱动轴承(35)末端，所述第一皮带轮(31)与第二皮带轮(37)通过第一皮带(34)连接，所述第一皮带轮(31)与第四皮带轮(314)通过第三皮带(315)连接，所述第四皮带轮(314)安装于从动轴承(313)上，所述从动轴承(313)安装于底座(6)内部，所述第三皮带轮(311)安装于第二驱动轴承(39)末端，所述第三皮带轮(311)与第四皮带轮(314)通过第二皮带(312)连接；

所述第一皮带轮(31)以及第四皮带轮(314)皆为有两个皮带槽的皮带轮；

所述第四清洗槽(8)包括：原料输入开关(81)、输入管道(82)、清洗槽(83)、输出管道(84)以及原料输出开关(85)，所述输入管道(82)一端连接清洗槽(83)一侧，所述输入管道(82)另一端连接原料箱(2)下端，所述原料输入开关(81)位于原料箱(2)与清洗槽(83)之间且穿过输入管道(82)，所述输出管道(84)一端位于清洗槽(83)下端，所述输出管道(84)另一端位于底座(6)外侧，所述原料输出开关(85)位于底座(6)外侧与清洗槽(83)之间且穿过输出管道(84)；

所述第二清洗槽(5)、第三清洗槽(7)结构与第四清洗槽(8)结构相同，所述第二清洗槽(5)输入管道连接原料箱(2)的水箱(26)，所述第三清洗槽(7)输入管道连接原料箱(2)的第二清洗液箱(27)，所述第四清洗槽(8)输入管道(82)连接原料箱(2)的第一清洗液箱(28)；

所述第一清洗槽(4)包括：第一清洗槽输入管道(41)、第一清洗槽原料输入开关(42)、喷头(43)、第一清洗槽槽壳(44)、第一清洗槽输出管道(45)以及第一清洗槽原料输出开关(46)，所述第一清洗槽输入管道(41)一端安装有喷头(43)，所述第一清洗槽输入管道(41)另一端安装于原料箱(2)下端，所述第一清洗槽输入管道(41)有喷头的一端安装与第一清洗槽槽壳(44)一侧，所述第一清洗槽原料输入开关(42)安装于第一清洗槽输入管道(41)上且位于原料箱(2)与第一清洗槽槽壳(44)之间，所述第一清洗槽输出管道(45)一端位于第一清洗槽槽壳(44)下端，所述第一清洗槽输出管道(45)另一端位于底座(6)外侧，所述第一清洗槽原料输出开关(46)位于底座(6)外侧与第一清洗槽槽壳(44)之间且穿过第一清洗槽输出管道(45)；

所述原料箱(2)以及第一清洗槽(4)、第二清洗槽(5)、第三清洗槽(7)、第四清洗槽(8)皆安装有容量标度计。

2.根据权利要求1所述的枚叶水平输送式之晶圆去膜清洗装置的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：关闭各个清洗槽输出开关，并打开各个清洗槽输入开关，待清洗液由原料箱流入各个清洗槽并到达指定容量，关闭各个清洗槽输入开关，同时打开装置总开关，电机(316)启动，所述电机输出轴承(32)带动第一皮带轮(31)运动，同时通过第一皮带(34)以及第三皮带(315)，第一皮带轮(31)带动第二皮带轮(37)和第四皮带轮(314)运动，所述第二皮带轮(37)通过第一驱动轴承(35)带动第一驱动轮(36)运动，所述第四皮带轮(314)通过第二皮带(312)带动第三皮带轮(311)，所述第三皮带轮(311)通过第二驱动轴承(39)带动第二驱动轮(310)运动，所述传动链条(38)在第一驱动轮(36)和第二驱动轮(310)的带动下开始运动，所述机爪(317)通过传动链条(38)带着晶圆开始进入清洗槽，晶圆首先进入装有较旧的光阻剥离剂的清洗槽，接着晶圆由装有较旧的光阻剥离剂的清洗槽出来并进入装有较新鲜光阻剥离剂的清洗槽，待晶圆从装有较新鲜光阻剥离剂的清洗槽中出来后将进入装有水的清洗槽，晶圆由装水清洗槽出来后进入喷头清洗槽。