[发明专利]感光性树脂组合物、感光性树脂涂层、感光性干膜、层合体和图案形成方法

权利要求书

1.感光性树脂组合物，其包含(A)包含具有式(a1)的重复单元和具有式(b1)的重复单元的有机硅树脂、(B)填料和(C)光致产酸剂，

其中，R¹至R⁴各自独立地为C₁-C₈一价烃基，m和n各自独立地为0至300的整数，X¹为具有式(1)的二价基团:

其中，Y¹为单键或选自以下基团的二价有机基团：

-CH₂-、

R¹¹各自独立地为氢或甲基，R¹²和R¹³各自独立地为C₁-C₄直链、支链或环状的烷基或C₁-C₄直链、支链或环状的烷氧基，a各自独立地为0至7的整数，b和c各自独立地为0至2的整数。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述有机硅树脂另外包含具有式(a2)的重复单元和具有式(b2)的重复单元：

其中，R¹至R⁴、m和n如上文所定义，X²为具有式(2)的二价基团：

其中，Y²为单键或选自以下基团的二价有机基团：

-CH₂-、

R²¹各自独立地为氢或甲基，R²²和R²³各自独立地为C₁-C₄直链、支链或环状的烷基或C₁-C₄直链、支链或环状的烷氧基，d各自独立地为0至7的整数，e和f各自独立地为0至2的整数。

3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述有机硅树脂另外包含具有式(a3)的重复单元和具有式(b3)的重复单元：

其中，R¹至R⁴、m和n如上文所定义，X³为具有式(3)的二价基团：

其中，R³¹各自独立地为氢或甲基，并且g各自独立地为0至7的整数。

4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述有机硅树脂另外包含具有式(a4)的重复单元和具有式(b4)的重复单元：

其中，R¹至R⁴、m和n如上文所定义，X⁴为具有式(4)的二价基团：

其中，Z¹为二价有机基团，R⁴¹各自独立地为氢或其中至少一个氢可以被卤素取代的C₁-C₈一价烃基，R⁴²各自独立地为C₁-C₈直链、支链或环状的亚烷基，R^X各自独立地为单键或能够与R^XX键合以形成环结构的基团，R^XX各自独立地为氢或C₁-C₈一价烃基，或者当其与R^X键合以形成环结构时，R^XX为C₁-C₁₀二价烃基，或者为单键。

5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述有机硅树脂另外包含具有式(a5)的重复单元和具有式(b5)的重复单元：

其中，R¹至R⁴、m和n如上文所定义，X⁵为具有式(5)的二价基团：

其中，R⁵¹各自独立地为氢或甲基，R⁵²和R⁵³各自独立地为C₁-C₈一价烃基，j和k各自独立地为0至300的整数，并且h各自独立地为0至7的整数。