[发明专利]TFT用玻璃基板

权利要求书

1.一种TFT用玻璃基板，其中，

所述TFT用玻璃基板由具备第1主面和与所述第1主面相反的第2主面的矩形玻璃板构成，

在从所述玻璃板的板厚方向进行观察的视野中，所述玻璃板具有相互邻接的第1边和第2边，

所述第1边的长度和所述第2边的长度为至少1200mm以上，

在所述玻璃板的板厚方向的截面中的、沿着与所述第1边平行的直线的第1截面中，作为该玻璃板的板厚的最大值与板厚的最小值之差的板厚公差小于6.26μm。

2.根据权利要求1所述的TFT用玻璃基板，其中，

在所述玻璃板的板厚方向的所有截面中，所述板厚公差小于7.12μm。

3.根据权利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，

在所述第1截面中，所述板厚的一阶微分值的绝对值的平均值小于1.72E-02。

4.根据权利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，

在所述第1截面中，所述板厚的一阶微分值的绝对值的标准偏差为1.5E-03以下。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的TFT用玻璃基板，其中，

在所述第1截面中，所述板厚的二阶微分值的绝对值的最大值为6.0E-03以下。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的TFT用玻璃基板，其中，

在所述第1截面中，所述板厚的二阶微分值的绝对值的标准偏差为1.5E-04以下。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的TFT用玻璃基板，其中，

所述第1主面具有粗糙化区域和非粗糙化区域，

所述粗糙化区域的粗糙度与所述非粗糙化区域的粗糙度之比大于1。

8.根据权利要求7所述的TFT用玻璃基板，其中，

所述粗糙化区域的算术平均粗糙度Ra₁为Ra₁＞0.5nm，

所述非粗糙化区域的算术平均粗糙度Ra₂为Ra₂≤0.5nm。

9.根据权利要求7或8所述的TFT用玻璃基板，其中，

所述粗糙化区域的面积小于所述非粗糙化区域的面积，

所述非粗糙化区域的面积与所述粗糙化区域的面积之比为3以上且300以下。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的TFT用玻璃基板，其中，

沿与所述第1边平行的方向以线状形成所述粗糙化区域。

11.根据权利要求7至10中任一项所述的TFT用玻璃基板，其中，

沿与所述第1边平行的方向以线状形成多个所述粗糙化区域。

12.根据权利要求10或11所述的TFT用玻璃基板，其中，

所述粗糙化区域的与所述第2边平行的方向的宽度为10mm以上且1000mm以下。

13.根据权利要求1至6中任一项所述的TFT用玻璃基板，其中，

所述第1主面具有第1区域和第2区域，

所述第1区域的氟含量与所述第2区域的氟含量之比大于1。

14.根据权利要求13所述的TFT用玻璃基板，其中，

所述第1区域的氟含量F1为0.5重量％≤F1≤5重量％，

所述第2区域的氟含量F2为0≤F2≤0.15重量％。

15.根据权利要求13或14所述的TFT用玻璃基板，其中，

所述第1区域的面积小于所述第2区域的面积，

所述第2区域的面积与所述第1区域的面积之比为3以上且300以下。