[发明专利]复合膜层及其制作方法、OLED显示面板的制作方法在审

专利信息
申请号: 201810911262.1 申请日: 2018-08-10
公开(公告)号: CN109103219A 公开(公告)日: 2018-12-28
发明(设计)人: 郭天福;徐湘伦 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 子膜 复合膜层 制作 新型复合膜 紫外光辐射 产品品质 抵抗能力 交替层叠 依次增大 紫外光 折射率 减小 制备 阻隔 垂直
【权利要求书】:

1.一种复合膜层,其特征在于,包括折射率不同的第一子膜层和第二子膜层,所述第一子膜层与所述第二子膜层交替层叠设置;

其中,所述第一子膜层的厚度与所述第二子膜层的厚度沿垂直于所述复合膜层的方向上依次增大或减小。

2.根据权利要求1所述的复合膜层,其特征在于,所述第一子膜层和所述第二子膜层为无机层。

3.根据权利要求1所述的复合膜层,其特征在于,所述第一子膜层和所述第二子膜层为有机层。

4.根据权利要求1所述的复合膜层,其特征在于,所述第一子膜层为有机层,所述第二子膜层为无机层。

5.根据权利要求1所述的复合膜层,其特征在于,第一子膜层的厚度和所述第二子膜层的厚度均大于50纳米且小于200纳米。

6.根据权利要求1所述的复合膜层,其特征在于,所述第一子膜层的折射率与所述第二子膜层的折射率的差值的绝对值大于0.4。

7.一种复合膜层的制作方法,所述复合膜层用于封装OLED层,

其特征在于,所述复合膜层的制作方法包括:

步骤S11、选取第一子膜层和第二子膜层,所述第一子膜层和所述第二子膜层的折射率不同;

步骤S12、采用沉积镀膜的方式将所述第一子膜层和所述第二子膜层交替层叠沉积,以完成所述复合膜层的制备;

其中,所述第一子膜层的厚度与所述第二子膜层的厚度沿垂直于所述复合膜层的方向上依次增大或减小。

8.根据权利要求7所述的复合膜层的制作方法,其特征在于,所述步骤S12具体步骤为:控制所述第一子膜层和所述第二子膜层的镀膜时间,使所述第一子膜层的厚度和所述第二子膜层的厚度沿垂直于所述复合膜层的方向上梯度增大或减小。

9.一种OLED显示面板的制作方法,所述OLED显示面板的制作方法包括权利要求7-8任一所述的复合膜层的制作方法,其特征在于,所述OLED显示面板的制作方法包括:

步骤S21、提供一玻璃基板,在所述玻璃基板的表面沉形成柔性基底层;

步骤S22、在所述柔性基底层的表面形成薄膜晶体管层;

步骤S23、在所述薄膜晶体管层的表面形成OLED层;

步骤S24、在所述薄膜晶体管层的上方形成覆盖所述OLED层的所述复合膜层,所述复合膜层的两端与所述薄膜晶体管层接触;

步骤S25、在所述复合膜层的表面形成有机层;

步骤S26、在所述有机层的表面形成无机层,所述无机层覆盖所述有机层,所述无机层的两端与所述薄膜晶体管层接触。

10.根据权利要求9所述的OLED显示面板的制作方法,其特征在于,在所述步骤S25中,所述有机层覆盖所述复合膜层,所述有机层的两端与所述薄膜晶体管层接触。

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