[发明专利]一种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器

权利要求书

1.一种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器,其特征在于:包括热敏感线(1),所述热敏感线(1)的左右两侧设置有正/负电极(4)，所述热敏感线(1)的上表面设置有多条的凹槽(2)，所述热敏感线(1)的上表面、凹槽(2)的表面均覆盖有金属膜(3)。

2.如权利要求1所述的一种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器,其特征在于:所述多条的凹槽(2)于热敏感线(1)上表面是纵向或者横向排列。

3.如权利要求1所述的一种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器,其特征在于:所述热敏感线(1)与正/负电极(4)之间设置有导电板(5)。

4.如权利要求1所述的一种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器,其特征在于:所述金属膜(3)为金、银形成的纳米颗粒层。

5.如权利要求1所述的一种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器,其特征在于:所述凹槽(2)内部还设置有SiO₂球(6)。

6.如权利要求1所述的一种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器,其特征在于:所述金属膜(3)的底面、热敏感线(1)的上表面均覆盖有有SiO₂层(7)；所述SiO₂层(7)的上方还设置有TiO₂(8)。

7.如权利要求1所述的一种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器,其特征在于:所述凹槽(2)的左侧壁与底面的夹角(9)小于90°，右侧壁与底面的夹角(10)与左侧壁与底面的夹角(9)为轴对称。

8.如权利要求1所述的一种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器，其特征在于：所述热敏感线(1)材料包括VOx、Si、SiGe、YBCO或NiO。