[发明专利]一种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器

说明书

本发明涉及一种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器,包括热敏感线,所述热敏感线的左右两侧设置有正/负电极，所述热敏感线的上表面设置有多条的凹槽，所述热敏感线的上表面、凹槽的表面均覆盖有金属膜；该用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器，通过在热敏感线表面设置光栅，当线偏振光入射的时候，会在与光栅设置方向吻合的情况下，吸收率最高，所吸收的光能够最大限度的转换为热能，进而对热敏感线的电阻率造成最大的影响，通过在热敏感线两端加载外接电源，通过检测通过热敏感线的电流变化，来判断线偏振光的方向。

技术领域

本发明涉及光电探测器技术领域，具体涉及一种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器。

背景技术

光电探测器的物理效应通常分为光子效应和光热效应，对应的探测器分别称为光子型探测器和光热型探测器。各种光子型探测器的共同特征是采用半导体能带材料，光子能量对探测材料中光电子的产生起直接作用，故光子型探测器存在截止响应频率或波长，且光谱响应限于某一波段，因此不同的材料体系决定了探测器具有不同的响应波长范围，一般难以用于宽谱或多谱段探测。对于光热型探测器，在吸收光辐射能量后，并不直接引起内部电子状态的改变，而是把吸收的光能变为晶格的热运动能量，引起探测元件温度上升，从而引起探测元件的电学性质或其他物理性质发生变化，故光热效应与光子能量的大小没有直接关系，光热型探测器原则上对频率没有选择性。由于红外波段特别是中长波红外以上波段的光热效应相比紫外和可见光更明显，故光热探测器通常用于中长波光学辐射的探测，典型的光热型探测器包括微测辐射热计、热释电探测器和热偶探测器等种类。由于温度升高是热积累的作用，基于光热效应的热探测器一般响应速度较慢，在毫秒量级。

然而,现有的光热探测器主要是用来探测光的强度，主要的改进方向也体现是在如何探测的光的强度方面，对线偏振光的敏感度较低，特别是无法确认线偏振光的偏振方向。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的是解决光热探测器无法法确认线偏振光的偏振方向的问题。

为此，本发明提供了一种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器,包括热敏感线,所述热敏感线的左右两侧设置有正/负电极，所述热敏感线的上表面设置有多条的凹槽，所述热敏感线的上表面、凹槽的表面均覆盖有金属膜。

所述多条的凹槽于热敏感线上表面是纵向或者横向排列。

所述热敏感线与正/负电极之间设置有导电板。

所述金属膜为金、银形成的纳米颗粒层。

所述凹槽内部还设置有SiO₂球。

所述金属膜的底面、热敏感线的上表面均覆盖有有SiO₂层；所述SiO₂层的上方还设置有TiO₂。

所述凹槽的左侧壁与底面的夹角小于90°，右侧壁与底面的夹角与左侧壁与底面的夹角为轴对称。

所述热敏感线材料包括VOx、Si、SiGe、YBCO或NiO。

本发明的有益效果：本发明提供的这种用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器，解决光热探测器无法进行线偏振光的偏振方向探测的问题，通过在热敏感线表面设置光栅，当线偏振光入射的时候，会在与光栅设置方向吻合的情况下，吸收率最高，所吸收的光能够最大限度的转换为热能，进而对热敏感线的电阻率造成最大的影响，通过在热敏感线两端加载外接电源，通过检测通过热敏感线的电流变化，来判断线偏振光的方向，该用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器，相比于现有的光检测仪，具有操作简单，成本低的特点。

以下将结合附图对本发明做进一步详细说明。

附图说明

图1是用于线偏振光的偏振方向探测的光学热探测器结构俯视图。